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  • DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離(lí)子(zǐ)清洗機

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真(zhēn)空等離子清(qīng)洗(xǐ)機(jī)

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等(děng)離(lí)子清洗機配(pèi)有真空(kōng)腔，射頻電源，真空泵，控(kòng)製(zhì)係(xì)統，流(liú)量(liáng)控製(zhì)係統。

關(guān)鍵(jiàn)字：DSX-VPD-8L-S,DSX-VPO-8L-S,DSX-VPD-8L-S等離子清洗(xǐ)機

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產品(pǐn)詳(xiáng)情(qíng)

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空(kōng)等離(lí)子清洗(xǐ)機產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

設(shè)備簡(jiǎn)介(jiè)：

1，真(zhēn)空腔(qiāng)

采(cǎi)用進(jìn)口(kǒu)材料製作(zuò)而(ér)成，焊接無漏氣，*優(yōu)化(huà) 8 層(céng)電(diàn)*設計合理利用空(kōng)間(jiān)，專業等離(lí)子(zǐ)發生(shēng)方式(shì)，絕緣可靠良好(hǎo)。

2，射(shè)頻電源

*全(quán)可靠(kào)的射(shè)頻電源(yuán)(13.56MHz)，為等離子的產生(shēng)提供保(bǎo)障(zhàng)。

3，真(zhēn)空(kōng)泵

快(kuài)速(sù)靜(jìng)音抽真空係(xì)統(tǒng)設(shè)計，真(zhēn)空(kōng)度可(kě)至(zhì) 10pa 以(yǐ)內，保(bǎo)證(zhèng)設備(bèi)使用(yòng)的各(gè)個需求壓力。

4，控製係(xì)統

PLC+觸(chù)摸屏自動控製係統設(shè)計(jì)，方便客戶使(shǐ)用(yòng)和操(cāo)作。

5，流(liú)量(liáng)控製(zhì)係統

專(zhuān)業(yè)閉環流(liú)量(liáng)控製(zhì)係統(tǒng)，保(bǎo)證工藝氣體的(dí)準確，確保等(děng)離(lí)子的效(xiào)果的穩(wěn)定(dìng)。


裝(zhuāng)機前準備(bèi)：

1，壓(yā)縮空(kōng)氣：≥0.5mpa，ø6mm PU 管(guǎn)

2，工(gōng)藝(yì)氣(qì)體(tǐ)：AR&O2(純(chún)度：≥99.999%)0.15～0.25mpa，ø6mm PU 管(guǎn)

3，廢氣(qì)排放：ø50mm 接口

4，主(zhǔ)電源：≥ 4mm2 電(diàn)源(yuán)綫(xiàn)(三(sān)相五(wǔ)綫(xiàn))，5.7KW Main


設備工(gōng)作(zuò)流程：

1，真(zhēn)空(kōng)抽取：將(jiāng)產品放置(zhì)腔(qiāng)體內，關(guān)上(shàng)腔體(tǐ)門(mén)，打(dǎ)開真空泵(bèng)，將真空腔內氣壓(yā)從常壓抽至(zhì) 30pa(自(zì)行(háng)設置(zhì))以內;

2，添(tiān)加工藝氣(qì)體：將準(zhǔn)確流量的(dí)工(gōng)藝氣體添(tiān)加至(zhì)真空(kōng)腔室(shì)內(nèi)，均(jūn)匀分(fēn)布(bù);

3，產(chǎn)生等(děng)離子(zǐ)：射頻(pín)電源提供能量電(diàn)離真空腔內的工(gōng)藝氣體，形成(chéng)等(děng)離子體(tǐ);

4，產品處理：根(gēn)據(jù)設置(zhì)時間(jiān)處理產(chǎn)品的等(děng)離(lí)子處(chǔ)理時(shí)間;

5，破(pò)真(zhēn)空：產品處理(lǐ)完成(chéng)後，打開(kāi)破真空(kōng)電磁(cí)閥，將真(zhēn)空腔壓(yā)力(lì)恢復(fù)至常壓取出(chū)產(chǎn)品(pǐn)。


DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空(kōng)等離子(zǐ)清洗機(jī)技術參數(shù)：

名(míng)稱（Name）

Vacuum Plasma system真空等(děng)離(lí)子清洗(xǐ)機

型(xíng)號(hào)（Model）

DSX- VPD-8L-S

技(jì)術參(cān)數(Technical Parameter)

備注(Remarks)

1

控(kòng)製(zhì)係統

(Control system)

PLC+HMI

Mitsubishi

2

真空泵(bèng)

Vacuum Pump

旋(xuán)片式真(zhēn)空泵(bèng)

Rotary vacuum pump

TVP

3

等(děng)離(lí)子(zǐ)發生係統

Plasma generator

射頻(pín)電源(yuán) 0-1000w+全網(wǎng)絡(luò)自動(dòng)匹(pǐ)配器

RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network

KVMEN

4

真(zhēn)空監控係統(tǒng)Vacuum Guage

皮拉尼(ní)電阻式真空計

Pirani resistance vacuum gauge

Ulvac

5

氣(qì)體流量控(kòng)製係(xì)統Mass Flow Control

質(zhì)量流(liú)量控製(zhì)器

MFC control system

ETON

6

氣體(tǐ)控(kòng)製係統

Gas control system

二(èr)通(tōng)電磁閥控(kòng)製

2 Channel solenoid valve control

SMC

7

抽(chōu)真空控(kòng)製(zhì)係統Vacuum output control

高真空(kōng)氣動擋板閥 GDW-KF40

Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40

ISO standard

8

破(pò)真(zhēn)空控製(zhì)係統Vacuum breaking control

高真(zhēn)空(kōng)氣動擋板閥 GDW-KF16

Hi-level vacuum pneumatic flapper valve

ISO standard

9

電*層(céng)數

Electrode Layer

水(shuǐ)平電*板 8 層(céng)(層數可選)

8 Layers of horizontal electrode plate（Option）

AL6061-L

10

有效處理麵(miàn)積(jī)

Effective treatment area

300mm（D）*400mm（W）

Option

11

工藝(yì)氣體(tǐ)通(tōng)道(dào)

Process gas channel

兩(liǎng)路工(gōng)作氣體可選(xuǎn)擇(zé)：AR O2 N2 H2 CF4 等

2 channels process gases option: AR O2

Option

12

腔(qiāng)體(tǐ)規格

Chamber Size

450mm(W)*450mm(D)*400mm(H)

AL-6061-L

13

整機外形尺(chǐ)寸(cùn)

Layout Size

995mm（W）*1085mm（D）*1750mm（H）



名(míng)稱（Name）

Vacuum Plasma system

型(xíng)號(hào)（Model）

DSX-VPO-8L-S

技術參數(Technical parameters)

備注Remarks

1

設備(bèi)電(diàn)源(yuán)Power supply

3P : 380VAC 50/60Hz


2

設(shè)備(bèi)功率(shuài)Power KW

5.7KW


3

工作真(zhēn)空(kōng)度

Working vacuum point

10-100Pa


4

抽(chōu)真空時間(jiān)

Vacuum output time

≤100s


5

破真空時(shí)間

Vacuum breaking time

≤30s


6

射頻電(diàn)源(yuán)功率(shuài)

RF Power KW

0-1000W


7

機台(tái)重(zhòng)量Weight

≤500KG


8

質(zhì)量流量控製係統(tǒng)

MFC Range

0-200sccm


9

操作方式(shì)

Mode of operation

全自(zì)動運行係統，一鍵啟(qǐ)動

Fully auto operation system, One-key starting