美國(guó)ALICAT  MS/MCS 係列耐(nài)腐蝕(shí)質量流量(liáng)計(jì)產品概述(shù): 

Alicat 的 MS 係(xì)列(liè)數字式(shì)質(zhì)量(liáng)流量(liáng)計可(kě)精，快速測(cè)量腐(fǔ)蝕(shí)性氣 體(如(rú)：NH3，H2S，SiH4 等)的質量(liáng)流(liú)量，體(tǐ)積流(liú)量(liáng)，壓(yā)力和(hé) 溫度。MCS 係(xì)列質量流(liú)量控製器(qì)通過(guò)定製化的(dí)高(gāo)速比例控製(zhì)閥 還可(kě)精控(kòng)製腐(fǔ)蝕(shí)性過程氣(qì)體(tǐ)的(dí)質(zhì)量(liáng)流(liú)量，體積流量和(hé)壓(yā)力(lì)。 

MS/MCS 係列(liè)質(zhì)量流(liú)量計&質量(liáng)流量(liáng)控(kòng)製(zhì)器的(dí)核心部件(jiàn)是 Alicat 專有的(dí)層(céng)流(liú)壓差技術，確保在(zài)大(dà)流(liú)量情(qíng)況仍然是(shì)綫性流動，從而(ér) 補償(cháng)了(liǎo)工藝(yì)溫(wēn)度和壓力(lì)變(biàn)化(huà)對(duì)質量流(liú)量(liáng)及體積流(liú)量產生的(dí)影(yǐng)響。 *有(yǒu) Alicat 質(zhì)量流(liú)量計(jì)&質量流量控(kòng)製器(qì)均(jūn)具有(yǒu) NIST 可(kě)溯(sù)源校準 證(zhèng)書(shū)。

MS/MCS 係列(liè)質(zhì)量流(liú)量(liáng)計(jì)/質量(liáng)流(liú)量控製器采(cǎi)用全(quán)不(bù)鏽鋼(gāng)結(jié)構及(jí)彈(dàn)性(xìng)密封材料，內置 130/128 種(zhǒng)標(biāo)準(zhǔn)氣(qì)體(tǐ)供(gōng) 選擇。集成(chéng)式(shì)多功(gōng)能數字(zì)顯示屏(píng)允許(xǔ)用戶通過顯示(shì)屏按鈕(niǔ)操(cāo)作(zuò)便(biàn)可(kě)進行(háng)氣(qì)體切換，設定值輸入及(jí) PID 閥門 調(tiáo)節(jié)。MS/MCS 係列設(shè)備(bèi)支(zhī)持(chí)標(biāo)準(zhǔn)的模擬(nǐ)通(tōng)訊和 RS-232 數(shù)字通訊(xùn)模(mó)式，另有(yǒu)各類定製化選(xuǎn)項供特殊項目(mù) 需(xū)求，如：用(yòng)於危險環(huán)境的(dí) ATEX(歐洲)1 類 2 區(qū)和 CSA(美國(guó))1 類(lèi) 2 區認證產(chǎn)品等(děng)。另(lìng)有便(biàn)攜式(shì)(MBS 係 列)質量流(liú)量計可(kě)選(xuǎn)。

美(měi)國(guó)ALICAT  MS/MCS 係(xì)列耐腐蝕質量流(liú)量(liáng)計(jì)產品應用: 

Alicat 的 MS/MCS 係列數字式質(zhì)量流(liú)量計/質(zhì)量(liáng)流量控(kòng)製(zhì)器為腐蝕(shí)性(xìng)過(guò)程氣體(tǐ)應用(yòng)的首肯，如(rú)：半導體行(háng)業 等。多(duō)變(biàn)量(liáng)測量(liáng)與控(kòng)製(zhì)，多種氣體(tǐ)標(biāo)定以(yǐ)及 100:1 量(liáng)程(chéng)可調(tiáo)比使得僅用單(dān)台 MS/MCS 係列質量流(liú)量控(kòng)製器(qì) 便(biàn)可(kě)取代多台(tái)設(shè)備的(dí)功(gōng)效(xiào)。很高可(kě)達 0.4%的精(jīng)度(dù)，0.2%重(zhòng)復性及(jí)不(bù)到(dào) 100 毫秒的控製響應(yīng)時間很(hěn)大程(chéng)度(dù)優(yōu) 化了氣體(tǐ)控製(zhì)過(guò)程。 

MS/MCS 質量(liáng)流量(liáng)計(jì)&質(zhì)量流量(liáng)控(kòng)製器可(kě)測量與控製(zhì)從(cóng) 0-0.5 sccm 到(dào) 0-3000 slpm 的(dí)滿量程(chéng)的(dí)任何(hé)流(liú)量。

美國ALICAT  MS/MCS 係列耐(nài)腐蝕質量流(liú)量(liáng)計(jì)參數(shù): 

0 – 0.5 sccm 滿量(liáng)程到(dào) 0 – 4000 slpm 滿量程

精度(dù)(調零後(hòu)標(biāo)準條件下(xià)): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

高精度(dù)選配(調(tiáo)零後標準條(tiáo)件下) :±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)高精(jīng)度(選配)僅(jǐn)適(shì)用(yòng)於量程(chéng)為(wéi) 5SCCM ~ 500SLPM 的設備

精(jīng)度(雙(shuāng)向流量(liáng)型號)(調零(líng)後(hòu)標(biāo)準條件(jiàn)下): ±(0.8%Rdg + 0.2%F.S) F.S:負滿量程(chéng)到正滿(mǎn)量程

重復性: ±0.2% F.S 

零(líng)點漂移&滿量(liáng)程漂移(yí): 0.02% F.S / ºC / Atm

工作範(fàn)圍(wéi) / 量程可(kě)調比(bǐ): 1% ~ 100 F.S / 100:1

很大(dà)可(kě)測(cè)流量(liáng): 128% F.S 

典(diǎn)型響(xiǎng)應時間 :10 毫(háo)秒(可調整(zhěng))

啟(qǐ)動(dòng)預熱(rè)時(shí)間 :< 1 秒

標(biāo)準(zhǔn)工(gōng)況(kuàng) (STP): 25ºC & 14.696 psia，20ºC & 14.696 psia，0ºC & 14.696 psia (三種工況供切換) 

工作溫度: −10 ~ +50 ºC

工(gōng)作濕(shī)度範圍 (非冷(lěng)凝(níng)) :0 ～ 100 

內部(bù)很大工作壓(yā)力(靜(jìng)壓(yā)) :145 psig 

 設備允許(xǔ)通(tōng)過的(dí)很大瞬時壓差  (入口壓力－出(chū)口(kǒu)壓力): 75 psid 

很限(xiàn)壓(yā)力 175 psig 

對(duì)安裝(zhuāng)方式(shì)/方(fāng)向(xiàng)的(dí)要(yào)求(qiú): 無(wú) 

防護等級: IP40 

材(cái)質 :標準(zhǔn)采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可(kě)根據特(tè)殊氣體選(xuǎn)用(yòng) Viton, EPDM, Buna, Neoprene；