MC & MCR係(xì)列(liè)質(zhì)量流(liú)量控(kòng)製(zhì)器參數:

0 – 0.5 sccm 滿(mǎn)量程到 0 – 3000 slpm 滿量程

產品性能(néng): MC & MCR 係(xì)列質(zhì)量流(liú)量控(kòng)製(zhì)器 

精(jīng)度(dù)(調(tiáo)零(líng)後(hòu)標準條件(jiàn)下(xià)): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

高精(jīng)度選(xuǎn)配(調(tiáo)零(líng)後(hòu)標(biāo)準條件下(xià)): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S) 

高(gāo)精度(選(xuǎn)配)僅適用於(yú)量程為(wéi): 5SCCM ~ 500SLPM 的(dí)設(shè)備(bèi)

重復(fù)性: ±0.2% F.S 

零點漂(piāo)移&滿量程(chéng)漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm 

工作範(fàn)圍 / 量程可調比(bǐ): 0.5% ~ 100 F.S / 200:1 

很(hěn)大可(kě)控(kòng)流量： 102.4% F.S 

典型響(xiǎng)應時間： 100 毫秒(可調(tiáo)整) 

啟動預熱(rè)時間: < 1 秒(miǎo)

運行工況: MC & MCR 係列(liè)質量流量控(kòng)製器 

標(biāo)準工(gōng)況(kuàng) :(STP) 25ºC & 14.696 psia
，20ºC & 14.696 psia
，0ºC & 14.696 psia (三(sān)種工(gōng)況供(gōng)切(qiē)換) 

工作溫度: −10 ~ +50 ºC 

工作濕度範圍 (非(fēi)冷(lěng)凝) :0 ～ 100 

內部很大(dà)工(gōng)作壓(yā)力(靜(jìng)壓): 145 psig 

很限壓力(lì): 175 psig 

對安裝方(fāng)式/方(fāng)向的要(yào)求(qiú): MC: 無 MCR: 閥(fá)門須垂(chuí)直(zhí)安(ān)裝(zhuāng) 

閥(fá)門狀(zhuàng)態(tài): 閥(fá)門(mén)常(cháng)閉 

防護等級: IP40 

材(cái)質 :MC: 303 & 302不(bù)鏽鋼, Viton®, 矽膠RTV (橡(xiàng)膠), 玻璃(lí)增(zēng)強尼(ní)龍(lóng), 鋁 , 黃(huáng)銅(tóng), 430FR 不鏽(xiù)鋼, 矽(guī), 玻(bō)璃(lí) MCR: 303 & 302不(bù)鏽鋼(gāng), Viton®, 矽膠(jiāo)RTV (橡膠), 玻(bō)璃增強(qiáng)       尼龍, 鋁, 416不鏽鋼, 鎳(niè), 矽, 玻(bō)璃(lí)