美國(guó)ALICAT  MCR 大(dà)流量質(zhì)量流量控製器參數:

0 – 0.5 sccm 滿量(liáng)程到(dào) 0 – 3000 slpm 滿(mǎn)量程

產(chǎn)品(pǐn)性能: MC & MCR 係列質量流量(liáng)控製器 

精(jīng)度(調零(líng)後(hòu)標準條(tiáo)件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

高精(jīng)度選配(調零後標準條(tiáo)件下(xià)): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S) 

高(gāo)精度(選(xuǎn)配)僅(jǐn)適用於量(liáng)程為: 5SCCM ~ 500SLPM 的(dí)設(shè)備

重復性(xìng): ±0.2% F.S 

零點(diǎn)漂(piāo)移&滿(mǎn)量(liáng)程(chéng)漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm 

工作範圍(wéi) / 量程(chéng)可調(tiáo)比: 0.5% ~ 100 F.S / 200:1 

很(hěn)大可控(kòng)流量： 102.4% F.S 

典(diǎn)型(xíng)響(xiǎng)應時間： 100 毫(háo)秒(可調(tiáo)整) 

啟動(dòng)預熱(rè)時間(jiān): < 1 秒

運行(háng)工(gōng)況(kuàng): MC & MCR 係(xì)列質量流(liú)量控製(zhì)器(qì) 

標(biāo)準工(gōng)況 :(STP) 25ºC & 14.696 psia，20ºC & 14.696 psia，0ºC & 14.696 psia (三(sān)種(zhǒng)工(gōng)況供切(qiē)換) 

工作溫(wēn)度: −10 ~ +50 ºC 

工作濕(shī)度範圍 (非冷(lěng)凝(níng)) :0 ～ 100 

內(nèi)部很(hěn)大工作壓力(靜壓): 145 psig 

很限(xiàn)壓力: 175 psig 

對安裝(zhuāng)方式(shì)/方向(xiàng)的要求: MC: 無 MCR: 閥門(mén)須垂(chuí)直安(ān)裝 

閥門(mén)狀態: 閥(fá)門常(cháng)閉(bì) 

防護等級: IP40 

材(cái)質 :MC: 303 & 302不鏽鋼, Viton®, 矽膠(jiāo)RTV (橡膠), 玻(bō)璃增強尼(ní)龍, 鋁 , 黃(huáng)銅(tóng), 430FR 不鏽鋼, 矽(guī), 玻(bō)璃 MCR: 303 & 302不鏽(xiù)鋼, Viton®, 矽膠RTV (橡膠(jiāo)), 玻璃增強       尼龍(lóng), 鋁, 416不(bù)鏽鋼(gāng), 鎳, 矽(guī), 玻(bō)璃