美國(guó)ALICAT  MCS/MCRS 耐腐蝕質(zhì)量(liáng)流(liú)量(liáng)控製器(qì)參(cān)數(shù): 

0 – 0.5 sccm 滿(mǎn)量(liáng)程(chéng)到 0 – 3000 slpm 滿量程(chéng) 

艾裏卡特(tè)®MCS & MCRS 係列專用於某(mǒu)些腐蝕(shí)性(xìng)氣體

產(chǎn)品性能: MCS & MCRS 係(xì)列質量流量(liáng)控製(zhì)器 

精度(調零(líng)後標準條件(jiàn)下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

高精(jīng)度選配(pèi)(調(tiáo)零(líng)後標(biāo)準條(tiáo)件(jiàn)下): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S) 

高精度(dù)(選配)僅(jǐn)適用(yòng)於(yú)量程為: 5SCCM ~ 500SLPM 的設備(bèi)

重(zhòng)復(fù)性: ±0.2% F.S 

零(líng)點漂(piāo)移&滿(mǎn)量程(chéng)漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm 

工(gōng)作(zuò)範圍(wéi) / 量程可調(tiáo)比: 1% ～ 100 F.S / 100:1 

很(hěn)大可控流(liú)量(liáng): 102.4% F.S 

典(diǎn)型(xíng)響應(yīng)時間: 100 毫秒(可(kě)調(tiáo)整(zhěng)) 

啟(qǐ)動預(yù)熱(rè)時間(jiān): < 1 秒

運(yùn)行工況(kuàng): MCS & MCRS 係(xì)列質量(liáng)流量控(kòng)製(zhì)器(qì) 

標(biāo)準(zhǔn)工(gōng)況: (STP) 25ºC & 14.696 psia，20ºC & 14.696 psia，0ºC & 14.696 psia (三種(zhǒng)工況供切(qiē)換(huàn)) 

工作溫度(dù): −10 ~ +50 ºC 

工作濕(shī)度範(fàn)圍 (非冷凝): 0 ~ 100 

內部很大工作壓力(靜壓): 145 psig 

很(hěn)限(xiàn)壓力: 175 psig 

對安裝方(fāng)式(shì)/方(fāng)向(xiàng)的(dí)要求(qiú): MCS: 無 MCRS: 閥門須垂直(zhí)安裝 

閥(fá)門狀態: 閥門常閉(bì) 

防(fáng)護等(děng)級： IP40 

材(cái)質 ：標準(zhǔn)采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根據特(tè)殊(shū)氣體選用(yòng) Viton, EPDM, Buna, Neoprene；