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  • 美國ALICAT  MCD/MCRD 雙(shuāng)向質(zhì)量流量控(kòng)製器

美國(guó)ALICAT MCD/MCRD 雙向(xiàng)質(zhì)量流量控製器(qì)

全球(qiú)首創(chuàng)控(kòng)製雙(shuāng)向(xiàng)氣(qì)體流量的質量流量(liáng)控製(zhì)器,量(liáng)程(chéng)範(fàn)圍:0~0.5 sccm 至(zhì) 0~3000 slpm,另有(yǒu)”Whisper”低(dī)壓損雙(shuāng)向流量(liáng)係(xì)列(liè)(MCDW)及耐(nài)腐蝕(shí)雙向(xiàng)流(liú)量(liáng)係列(liè)(MCDS)可選(xuǎn)。

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產品(pǐn)詳(xiáng)情


美國(guó)ALICAT  MCD/MCRD 雙(shuāng)向(xiàng)質(zhì)量(liáng)流(liú)量控(kòng)製(zhì)器產品概述:

Alicat 的 MCD 係(xì)列數字式雙(shuāng)向(xiàng)質量流量(liáng)控(kòng)製(zhì)器(qì)可通過定(dìng)製化 的高速(sù)比例調節閥,正向或(huò)反(fǎn)向(xiàng)精測量與(yǔ)控製(zhì)過(guò)程氣(qì)體的質(zhì) 量流量,體積流量和壓(yā)力。采(cǎi)用雙(shuāng)閥門設計(jì)模(mó)式,一台(tái)閥門專 門用於控(kòng)製進氣,另一(yī)台用於(yú)排氣(qì),實(shí)現了(liǎo)僅(jǐn)用一(yī)台(tái) MCD 便(biàn) 可同時控製開(kāi)放式(shì)或密閉容器內上遊(yóu),下(xià)遊(yóu)端流(liú)量,以及正 壓,背壓。

Alicat 的 MCD 係(xì)列(liè)雙(shuāng)閥門質量流量控製器采用(yòng)專有(yǒu)的內(nèi)部(bù)補 償型層流(liú)壓(yā)差(chà)技術(shù),使得大流量(liáng)範圍下(xià)氣體仍(réng)舊保持層流運動, 充分補償因(yīn)壓(yā)力(lì)和溫(wēn)度(dù)引(yǐn)起的體(tǐ)積(jī)流量與質(zhì)量流(liú)量(liáng)間(jiān)的差異,並對(duì)用戶標準工況(kuàng)進(jìn)行修(xiū)正(zhèng)。*有(yǒu) Alicat 質 量流(liú)量計&質(zhì)量(liáng)流量(liáng)控(kòng)製器(qì)均具(jù)有 NIST 可(kě)溯(sù)源(yuán)校準(zhǔn)證書(shū)。

Alicat 的 MCD 係(xì)列雙(shuāng)向(xiàng)質量(liáng)流量控製器配有(yǒu)集成(chéng)式(shì)多功能(néng)數字顯示屏,用戶無需(xū)使用(yòng)電(diàn)腦,僅通過屏幕(mù)按 鈕操作(zuò)便可(kě)控製設(shè)定值及 PID 閥門調節。內置(zhì) 98 種標準氣(qì)體(tǐ)供(gōng)選擇(zé),同時開放(fàng)模(mó)擬通訊(xùn)和(hé) RS-232 數字通(tōng) 訊(xùn)模式(shì)。另(lìng)有(yǒu)各(gè)類定製(zhì)化(huà)選項供特(tè)殊(shū)項目(mù)需求(qiú),如(rú):用於危險環境(jìng)的 ATEX(歐(ōu)洲(zhōu))1 類(lèi) 2 區和(hé) CSA(美國)1 類(lèi) 2 區(qū)認(rèn)證(zhèng)產品(pǐn)等。另(lìng)有耐腐蝕係列(MCDS),低壓損係列(MCDW)雙向流量(liáng)控(kòng)製(zhì)器(qì)可選。


美(měi)國(guó)ALICAT  MCD/MCRD 雙(shuāng)向質量(liáng)流量控製(zhì)器(qì)產品應用:

Alicat 的 MCD 係列(liè)雙向(xiàng)質量流量控製器廣泛(fàn)應用(yòng)於各行業領(lǐng)域,如:科(kē)學研(yán)究,泄漏測(cè)試,環(huán)境監(jiān)測,真空(kōng) 鍍膜(mó),半導體,汽車(chē)知(zhī)道,光伏,燃(rán)料(liào)電池,光(guāng)綫製造,計(jì)量(liáng)以及過(guò)程工(gōng)藝氣體(tǐ)測量等(děng)。雙閥設計(jì),多變量 測(cè)量&控製,多種氣體標定以(yǐ)及 200:1 量程可(kě)調比(bǐ)使(shǐ) MCD 已(yǐ)然(rán)成為一台(tái)通(tōng)用型設(shè)備(bèi),可(kě)取代(dài)多台設(shè)備發揮(huī)的 功效(xiào)。很高可達 0.4%的精(jīng)度,0.2%重(zhòng)復性及不(bù)到 100 毫秒的控(kòng)製(zhì)響(xiǎng)應時間很大(dà)程(chéng)度優化了(liǎo)氣體控(kòng)製過程(chéng)。

MCD 係列(liè)雙(shuāng)向質量流(liú)量控製(zhì)器(qì)可測量(liáng)與控(kòng)製從(cóng)-0.5 ~ +0.5 SCCM 到-3000 ~ +3000 SLPM 的滿(mǎn)量程(chéng)的(dí)任(rèn)何(hé)流量。




美國ALICAT  MCD/MCRD 雙向質量流(liú)量(liáng)控(kòng)製(zhì)器參(cān)數(shù):

0 – 0.5 sccm 滿量程(chéng)到 0 – 3000 slpm 滿量程


精度(dù)(調零(líng)後(hòu)標準條(tiáo)件下):±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.) (注:該(gāi)處 F.S.為雙向(xiàng)滿量程之(zhī)和(hé))

重復(fù)性: ± 0.2% F.S

零點漂移&滿(mǎn)量程漂移(yí): 0.02% F.S / ºC / Atm

工作(zuò)範圍 / 量(liáng)程可調(tiáo)比(bǐ): -100 ~ 100 F.S / 200:1

很大可(kě)控(kòng)流量 :102.4% F.S

典型響應時(shí)間: 100 毫(háo)秒(可調整(zhěng))

啟動預熱時間: < 1 秒

標準(zhǔn)工況: (STP) 25ºC & 14.696 psia,20ºC & 14.696 psia,0ºC & 14.696 psia (三種工況供切換)

工作溫(wēn)度: −10 ~ +50 ºCelsius

工(gōng)作濕度範圍 (非冷(lěng)凝(níng)): 0 ~ 100

內部很大(dà)工作壓力(lì)(靜(jìng)壓): 145 psig

很限壓(yā)力(lì): 175 psig

對(duì)安裝方(fāng)式(shì)/方向(xiàng)的要求: MCD 係(xì)列質(zhì)量流量控製器 無(wú) ;MCRD 係(xì)列質(zhì)量(liáng)流量控(kòng)製器 閥門須垂(chuí)直(zhí)安裝

閥門狀(zhuàng)態(tài): 閥門常(cháng)閉(bì)

防(fáng)護(hù)等級: IP40

材(cái)質(zhì):MCD: 303 & 302 不(bù)鏽鋼, Viton®, 矽(guī)膠RTV (橡(xiàng)膠(jiāo)), 玻(bō)璃增強(qiáng)尼(ní)龍(lóng), 鋁 , 黃(huáng)銅(tóng), 430FR 不(bù)鏽(xiù)鋼, 矽(guī), 玻(bō)璃 MCRD: 303 & 302不(bù)鏽鋼, Viton®, 矽膠(jiāo)RTV (橡膠), 玻璃(lí)增強尼龍, 鋁, 416不(bù)鏽(xiù)鋼, 鎳(niè), 矽, 玻(bō)璃(lí)