美國ALICAT  MCE & MCV 係列(liè)數字式質量流(liú)量控(kòng)製(zhì)器(真(zhēn)空型(xíng))產(chǎn)品簡(jiǎn)介(jiè)
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MCE係(xì)列設計用(yòng)於取代老化陳(chén)舊(jiù)或性能(néng)不佳的(dí)熱式流量控(kòng)製器。設(shè)備結構，安(ān)裝模(mó)式(shì)，功(gōng)能等(děng)無任何差異，方便(biàn)用(yòng)戶快(kuài)速(sù)，簡(jiǎn)易(yì)地(dì)進行替(tì)換(huàn)，並可定製(zhì)引腳分(fēn)配(pèi)使之(zhī)與用(yòng)戶端(duān)的控製係統兼容(róng)，封(fēng)閉式(shì)閥(fá)門設(shè)計(jì)更是符合(hé)半導體行(háng)業國(guó)際(jì)標準(zhǔn)，很大(dà)量程
：0-20 slpm，另有(yǒu)316L不(bù)鏽(xiù)鋼(gāng)結構(gòu)的(dí)耐腐(fǔ)蝕係列(MCES)可(kě)選。

Alicat 的 MCE 係列流(liú)量控(kòng)製器可精控製(zhì)過程(chéng)氣 體的質量(liáng)流(liú)量(liáng)，體積流量(liáng)和壓力，功能與匹配性與其它品(pǐn)牌無 異(yì)，依(yī)照 SEMI 國際(jì)標準，將後置式(shì)高(gāo)速(sù)比例控(kòng)製(zhì)閥置於流(liú)量(liáng) 本體內(nèi)。

美(měi)國(guó)ALICAT  MCE & MCV 係(xì)列數(shù)字式質(zhì)量流量控製器(qì)(真(zhēn)空型(xíng))產(chǎn)品(pǐn)簡介
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設計(jì)用(yòng)於(yú)高真空應用(yòng)的MCV係列(liè)是(shì)在(zài)上(shàng)述(shù)MCE係列的基礎上另(lìng)增加(jiā)一(yī)集(jí)成(chéng)式(shì)氣動截止閥，有效(xiào)杜絕(jué)設(shè)定(dìng)值(zhí)為(wéi)零時(shí)氣體(tǐ)進入真(zhēn)空腔(qiāng)體(tǐ)，很大量程
：0-20 slpm，另有316L不(bù)鏽(xiù)鋼結構(gòu)的耐(nài)腐蝕係列(MCVS)可選。

Alicat 的(dí) MCV 係列(liè)流量(liáng)控(kòng)製器適(shì)用(yòng)於(yú)高(gāo)真空(kōng)應用(yòng)， 在(zài) MCE 後增加一(yī)個(gè)集(jí)成式(shì)正向切(qiē)斷閥(fá)，其(qí)氦(hài)氣(qì)泄(xiè)漏(lòu)率僅為 1x10-9 atm-scc/s，有(yǒu)效(xiào)地杜(dù)絕了汙染(rǎn)物進(jìn)入。

Alicat 的(dí) MCE & MCV 係列(liè)質(zhì)量(liáng)流量(liáng)控製(zhì)器采(cǎi)用專有的內部補償(cháng)型層(céng)流(liú)壓差技(jì)術(shù)，使(shǐ)得大(dà)流(liú)量範圍下(xià)氣體 仍舊(jiù)保(bǎo)持(chí)層流運動(dòng)，充(chōng)分(fēn)補(bǔ)償因壓力(lì)和(hé)溫(wēn)度引起的體(tǐ)積流量與質(zhì)量流(liú)量間(jiān)的差異，並對用戶標(biāo)準工(gōng)況進(jìn)行(háng) 修(xiū)正(zhèng)。

Alicat 的(dí) MCE & MCV 係(xì)列質(zhì)量(liáng)流(liú)量控製器帶(dài)有集(jí)成式(shì)多功能數字(zì)顯示屏(píng)，用戶僅通過(guò)屏幕按鈕操作便可(kě)控(kòng) 製設(shè)定值(zhí)及 PID 閥門(mén)調節(jié)。很高可(kě)達(dá) 0.4%的精度，0.2%的重(zhòng)復性(xìng)及(jí)不到 100 毫(háo)秒的(dí)控(kòng)製響應時(shí)間很大(dà)程度(dù) 優化了(liǎo)氣體控(kòng)製過程(chéng)，同(tóng)時開放模擬通(tōng)訊(xùn)和 RS-232 數(shù)字通訊模(mó)式。另(lìng)有(yǒu)各(gè)類定製化選(xuǎn)項(xiàng)供(gōng)特(tè)殊項目(mù)需求(qiú)， 如(rú)
：用於(yú)危(wēi)險環境(jìng)的(dí) ATEX(歐洲(zhōu))1 類 2 區(qū)和 CSA(美(měi)國(guó))1 類 2 區(qū)認(rèn)證(zhèng)產(chǎn)品等。

美(měi)國ALICAT  MCE & MCV 係(xì)列數字式(shì)質量流(liú)量控(kòng)製器(真空(kōng)型(xíng))產品應用
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Alicat 的 MCE & MCV 係列質量流(liú)量(liáng)控製器(qì)(真(zhēn)空型(xíng)) 廣泛應(yīng)用於須遵守 SEMI 標(biāo)準的(dí)應(yīng)用，如
：半導體，真 空(kōng)鍍(dù)膜(mó)等。MCE 係列質(zhì)量(liáng)流(liú)量控製器(qì)尤其(qí)適用於(yú)低(dī)真(zhēn)空應用，MCV 係(xì)列則(zé)適(shì)用(yòng)高真(zhēn)空。多變(biàn)量測(cè)量與控 製，多(duō)種(zhǒng)氣體(tǐ)標定以及 200:1 量(liáng)程可(kě)調比(bǐ)使得僅(jǐn)用(yòng)一台 Alicat 質量流量(liáng)控製器便可取(qǔ)代多台(tái)設備(bèi)的(dí)功(gōng)效(xiào)。

MCE & MCV 質量流(liú)量控製器(qì)(真空型)可測(cè)量與控(kòng)製從 0-0.5 sccm 到 0-20 slpm 的(dí)滿量(liáng)程的(dí)任(rèn)何(hé)流量(liáng)。

美國(guó)ALICAT  MCE & MCV 係列數字式(shì)質量(liáng)流量(liáng)控(kòng)製器(qì)(真空型(xíng))參(cān)數(shù)
：

0 – 0.5 sccm 滿量程(chéng)到(dào) 0 – 20 slpm 滿(mǎn)量程

艾(ài)裏卡特®MCV 係列(liè) 質(zhì)量流量(liáng)控(kòng)製器專門(mén)設計(jì)用於要求(qiú)嚴密切(qiē)斷的(dí)應用，例(lì)如真(zhēn)空鍍膜，噴(pēn) 鍍工藝，其集(jí)成(chéng)式氣(qì)動(dòng)切(qiē)斷閥可提供(gōng)氦氣泄漏率(shuài)僅(jǐn)為 1 x 10 -9 atm scc/sec 的正向切斷 MCVS 係列適用(yòng)於(yú)腐(fǔ)蝕(shí)性(xìng)氣(qì)體。

精(jīng)度(調零後(hòu)標準條件(jiàn)下)
： ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

高精度選配(調(tiáo)零後標(biāo)準條件(jiàn)下)
：±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)滿量(liáng)程 5SCCM 以(yǐ)下設備(bèi)無高精(jīng)度

重復性(xìng)
： ±0.2% F.S

零點漂移&滿量程漂移
： 0.02% F.S / ºC / Atm

工作範圍(wéi) / 量(liáng)程(chéng)可調比
：MCV 係(xì)列質(zhì)量流(liú)量控製器(qì) 0.5% ～ 100 F.S / 200:1 ；MCVS 係列質量流量控製(zhì)器 1% ～ 100 F.S / 100:1

很(hěn)大可控(kòng)流(liú)量
： 102.4% F.S

典(diǎn)型響應時(shí)間
： 100 毫秒(可(kě)調整(zhěng))

啟動預熱時間
： < 1 秒

閥門泄漏(lòu)率(shuài)
： 不(bù)超過(guò) 1 x 10-9 atm scc/sec (氦檢)

標(biāo)準工況(kuàng)
： (STP) 25ºC & 14.696 psia，20ºC & 14.696 psia，0ºC & 14.696 psia (三種(zhǒng)工(gōng)況供切換(huàn))

工(gōng)作溫度
： −10 ~ +50 ºC

工作(zuò)濕度範(fàn)圍(wéi) (非冷(lěng)凝(níng)) 
：0 ～ 100

內部很大(dà)工作壓力(lì)(靜壓)
： 145 psig

很限(xiàn)壓力(lì)
： 175 psig

對(duì)安(ān)裝方(fāng)式/方向的要求(qiú)
： 無(wú)

閥(fá)門狀(zhuàng)態
： 閥門(mén)常閉

防護(hù)等級 
：IP40

材(cái)質(zhì)
：CV: 316L,303 & 302 不(bù)鏽鋼, Viton®, 矽膠 RTV (橡(xiàng)膠), 玻璃增強尼(ní)龍, 鋁(lǚ) , 黃(huáng)銅(tóng), 430FR 不鏽鋼(gāng), 矽, 玻 璃, PCTFE。

          MCVS: 標準采用(yòng) 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根(gēn)據特殊氣(qì)體選用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene。