英國MICHELL Pura高純氣(qì)露點(diǎn)變(biàn)送(sòng)器(qì)是基(jī)於密析爾(ěr)儀表多(duō)年在(zài)阻抗(kàng)露點傳感器(qì)生(shēng)產(chǎn)和(hé)校驗的(dí)專業經驗,結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工(gōng)業(yè)化的材料(liào)和製造流程,打(dǎ)造(zào)出的初個適用於半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)製(zhì)造行業(yè)和超(chāo)純氣(qì)體應用(yòng)的低價位變送器(qì)。
關鍵(jiàn)字:Pura,Pura露(lòu)點變送器(qì),英(yīng)國MICHELL露點變(biàn)送(sòng)器(qì)
英(yīng)國MICHELL
英(yīng)國MICHELL Pura高(gāo)純(chún)氣露點(diǎn)變送器是基(jī)於(yú)密(mì)析(xī)爾儀表多年(nián)在阻(zǔ)抗露(lòu)點(diǎn)傳感器生產和校驗的專業經驗,結合(hé)標(biāo)準(zhǔn)工業化(huà)的(dí)材料和製造流(liú)程,打造出(chū)的(dí)初個適(shì)用於(yú)半導體製(zhì)造行業(yè)和(hé)超(chāo)純氣體應(yīng)用的低價位變送器(qì)。
英(yīng)國(guó)MICHELL Pura高(gāo)純(chún)氣(qì)露點(diǎn)變(biàn)送器產品簡介(jiè):
在(zài)很(hěn)多超(chāo)純氣應用(yòng),諸如(rú)半導體工業中,氣體(tǐ)中殘餘(yú)的濕(shī)氣對於過(guò)程(chéng)處(chǔ)理的正(zhèng)常運(yùn)作至(zhì)關重要(yào)。一直(zhí)以(yǐ)來,對濕氣的(dí)持(chí)續追蹤(zōng)測(cè)量(liáng)都(dū)是(shì)個難點,需要用(yòng)到(dào)復雜(zá)的濕度(dù)分(fēn)析(xī)儀或(huò)者(zhě)昂貴的分析技(jì)術。然(rán)而密析爾儀表(biǎo)目前則向市(shì)場推出了簡(jiǎn)單(dān)的,經(jīng)濟的(dí),相當(dāng)有(yǒu)效的方(fāng)案(àn),用(yòng)來在綫測(cè)量(liáng)露點值(zhí),下限(xiàn)低至驚(jīng)人的-120°C (相當於不到(dào) 1 ppbV)。
Pura 變(biàn)送(sòng)器(qì)是基於(yú)密析(xī)爾(ěr)儀表多(duō)年在阻(zǔ)抗露點傳感器生產和(hé)校驗的(dí)專業(yè)經(jīng)驗,結合(hé)標準工(gōng)業化的(dí)材料(liào)和製(zhì)造流程,打(dǎ)造出的(dí)初(chū)個適用於半導(dǎo)體製(zhì)造行(háng)業(yè)和(hé)超(chāo)純(chún)氣體(tǐ)應用(yòng)的(dí)低(dī)價位(wèi)變送器(qì)。
英(yīng)國MICHELL Pura高純氣露點(diǎn)變(biàn)送(sòng)器(qì)產品特點:
測(cè)量(liáng)下限 -120°C 露(lòu)點 (1 ppbV)
測量穩定,重復(fù)性好(hǎo)
高度集成(chéng)的采樣裝(zhuāng)置(zhì)
模擬(nǐ)和數字輸(shū)出(chū)
安裝簡便
VCR 過程(chéng)接(jiē)口
設(shè)計緊(jǐn)湊小巧
顯示(shì)/報(bào)警(jǐng)單元可(kě)選
英國MICHELL Pura高純(chún)氣露點變(biàn)送(sòng)器(qì)技(jì)術(shù)參(cān)數:
傳感器 | ||
傳(chuán)感器(qì)類(lèi)型(xíng) | 密(mì)析爾陶(táo)瓷濕度傳感器 | |
量程 | -120 ~ -40°C 露(lòu)點 (校(xiào)驗到 -100 ~ -40°C) | |
精(jīng)度(dù) | ±1°C -40 ~ -60°C; | |
分辨(biàn)率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; | |
壓力 | 低至10-9 torr; 大(dà)到24 MPa | |
氣體流(liú)量 | 1 ~ 5 Nl/min | |
電(diàn)氣 | ||
電(diàn)源 | 通常 24 V DC, 低至10 V ~ 高到(dào)28 V , 大電流 25 mA | |
輸出(chū) | 4-20 mA 輸(shū)出, 對(duì)應範圍可(kě)由專(zhuān)用軟件(jiàn)調(tiáo)整(zhěng), 調整(zhěng)量程(chéng)從 1 ~ 80°C (標配提(tí)供) | |
輸出出(chū)錯狀(zhuàng)態 | 標(biāo)準輸出出錯信(xìn)息(xī)如下(xià): 23mA=傳(chuán)感器故障(zhàng); 20mA=超上限(xiàn); 4mA=超(chāo)下限(xiàn) | |
機械性(xìng)能 | ||
傳感(gǎn)器套(tào)筒 | 不鏽鋼(gāng), 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內拋光(guāng) | |
氣路連(lián)接(jiē)端(duān)口 | Premium 或 OEM 型(xíng): ¼" m VCR 接(jiē)口(kǒu) | |
安裝配(pèi)置 | Premium 或(huò) OEM 型(xíng): 120.00mm長, 氣(qì)路(lù)端(duān)口(kǒu)的(dí)端(duān)麵密封. 無(wú)需(xū)預(yù)留管路空隙; 斜(xié)對麵橫(héng)豎間距均(jūn)為(wéi) 20 x 20mm; | |
尺寸 | Premium 或(huò) OEM 型: 120 x 35 x 150mm | |
重量 | Premium 或(huò) OEM 型: 450g | |
包(bāo)裝 | Pura: 雙層包(bāo)裝, 惰(duò)性氣體(tǐ)填(tián)充密封 | |