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日本(běn)Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量(liáng)流量控製器(qì)是(shì)一(yī)種計(jì)測(cè)和(hé)控製流(liú)體流(liú)量(liáng)的(dí)裝置(zhì)，用(yòng)於寬廣範(fàn)圍(wéi)的(dí)流量控(kòng)製，其控(kòng)製(zhì)範(fàn)圍(wéi)可以從0.2 SCCM到(dào)1000 SLM(以(yǐ)N2為(wéi)標準)。
關鍵字(zì)：SEC-E40,SEC-E40流量(liáng)控製(zhì)器,日(rì)本Horiba流(liú)量(liáng)控製器(qì)
日本Horiba STEC SEC-E40氣(qì)體(tǐ)質量流量控(kòng)製器是一種計測和控製流體流量(liáng)的裝置，用於寬(kuān)廣範(fàn)圍的(dí)流量(liáng)控製，其控(kòng)製範圍可以(yǐ)從0.2 SCCM到(dào)1000 SLM(以N2為(wéi)標(biāo)準(zhǔn))。
日本Horiba STEC SEC-E40氣體質量產品(pǐn)簡(jiǎn)介(jiè)：
HORIBA STEC質量(liáng)流(liú)量(liáng)控製器(qì)是一種計測(cè)和控製(zhì)流體(tǐ)流量(liáng)的裝置。流(liú)體的流量計(jì)測(cè)通(tōng)常可(kě)分為體(tǐ)積(jī)流量和質量流量(liáng)。體(tǐ)積(jī)流(liú)量(liáng)由於受到計(jì)測(cè)時環境(jìng)溫(wēn)度和壓(yā)力(lì)的影(yǐng)響，如需要(yào)準確(què)測(cè)定時，須(xū)對(duì)溫(wēn)度和壓(yā)力(lì)進行(háng)調(tiáo)整(zhěng)。而質量(liáng)流(liú)量計在(zài)測(cè)定(dìng)流(liú)體(tǐ)質量(liáng)的(dí)時候(hòu)，不容易受(shòu)到(dào)環(huán)境(jìng)溫(wēn)度和壓(yā)力(lì)等外在因素的(dí)影響而能(néng)準確(què)地(dì)進行流(liú)體測(cè)量。在須(xū)對(duì)流量進行(háng)準(zhǔn)確計(jì)測(cè)和控製的領域，質量(liáng)流(liú)量控(kòng)製(zhì)器被(bèi)廣(guǎng)泛(fàn)的(dí)使用(yòng)，例(lì)如(rú)半(bàn)導(dǎo)體工業(yè)，太陽能光電工(gōng)業(yè)和微(wēi)電子(zǐ)加工(gōng)製造業等(děng)。
提(tí)供多(duō)氣體(tǐ)，多(duō)量(liáng)程(chéng)的解決方案，是(shì)銷(xiāo)量很(hěn)多(duō)的氣體(tǐ)質量流量(liáng)控(kòng)製(zhì)器。高精(jīng)度，快速(sù)響(xiǎng)應，輕巧的(dí)尺寸。全(quán)金(jīn)屬密封，橡(xiàng)膠密封(fēng)
適用(yòng)於(yú)廣(guǎng)泛範圍(wéi)的流量(liáng)控製：在(zài)同(tóng)一(yī)係列(liè)中，適於從(cóng)0.2SCCM到(dào)500SLM(N2)的流(liú)量(liáng)控製(zhì)適用於廣泛(fàn)的用途：在普(pǔ)通產業(yè)市場(cháng)中，擁(yōng)有(yǒu)眾多(duō)的(dí)銷售(shòu)業(yè)績，低(dī)成本：產品係列(liè)中有(yǒu)力求具(jù)有成本(běn)優勢(shì)的型號：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60
用(yòng)於(yú)寬廣範(fàn)圍(wéi)的流(liú)量(liáng)控(kòng)製，其(qí)控製範圍(wéi)可(kě)以從(cóng)0.2 SCCM到1000 SLM(以(yǐ)N2為標準)
日(rì)本Horiba STEC SEC-E40氣體質量流量控(kòng)製器應(yīng)用領(lǐng)域(yù)：
化(huà)工/石(shí)化/石(shí)油/天(tiān)然氣(qì)
醫(yī)藥/生命(mìng)科(kē)學(xué)
食品飲料(liào)
LED FPD
冶金(jīn)
電力(lì)能源及(jí)水(shuǐ)處(chǔ)理(lǐ)
造(zào)紙
環境保(bǎo)護及控製
汽車
半(bàn)導(dǎo)體/光(guāng)伏(fú)
微電子(zǐ)
EPC及係統(tǒng)集成(chéng)商
日(rì)本(běn)Horiba STEC SEC-E40氣(qì)體質量流量控製(zhì)器(qì)技術參(cān)數：
型(xíng)號(hào)SEC- (質(zhì)量(liáng)流量(liáng)控(kòng)製器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質(zhì)量流量(liáng)計)E40E50
適(shì)用氣(qì)體種類*1 | 非(fēi)腐(fǔ)蝕(shí)性(xìng)氣體(tǐ)(MK3型(xíng)號適用(yòng)於N2，O2，空(kōng)氣(qì)，H2，Ar，He) | |
氣(qì)體(tǐ)接(jiē)觸部材(cái)質(zhì) | SUS316L.氟化(huà)橡膠.PTFE，磁(cí)性(xìng)不鏽鋼(gāng) | |
閥(fá)門型(xíng)號(hào) | 非(fēi)通電時(shí) 關閉 | |
標(biāo)準(zhǔn)流量量(liáng)程 (N2相應(yīng)F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM |
流量控製範圍(wéi) | 2?100% F.S. | |
流量(liáng)測(cè)量範圍 | 0?100% F.S. | |
響(xiǎng)應速度 | 1秒以內(T98) | |
流(liú)量(liáng)精(jīng)度 | ±1% F.S. | |
直綫(xiàn)性 | ±0.5% F.S. | |
反復(fù)性 | ±0.2% F.S. | |
工作差(chà)壓(yā)值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | |
使(shǐ)用壓(yā)力(lì) | 300kPa(G)以(yǐ)下(xià) | |
耐(nài) 壓 | 1MPa(G)以下(xià) | |
外(wài)部泄(xiè)漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | |
使用環(huán)境溫度(dù) | 5?50℃(精(jīng)度的確(què)保：15?35℃) | |
流量(liáng)設(shè)定信號(hào) | 0.1?5VDC(輸入(rù)阻抗(kàng)1MΩ以(yǐ)上)/2?100% F.S. | |
流(liú)量(liáng)輸出(chū)信號(hào) | 0?5VDC(很小(xiǎo)負荷(hé)電(diàn)阻2kΩ) | |
驅動(dòng)電源(yuán) | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
標準接(jiē)頭*2 | 1/4SWL 類型 | |
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