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日本(běn)Horiba STEC SEC-E50氣體(tǐ)質(zhì)量流量控(kòng)製器(qì)是一種(zhǒng)計測和控製流體(tǐ)流(liú)量的裝(zhuāng)置(zhì)，質量流量(liáng)控(kòng)製(zhì)器被廣(guǎng)泛(fàn)的(dí)使用(yòng)，例(lì)如(rú)半導體(tǐ)工(gōng)業，太(tài)陽(yáng)能光電工業和微(wēi)加工製造業(yè)等。
關鍵字：SEC-E50,SEC-E50流(liú)量(liáng)控(kòng)製器(qì),日本(běn)Horiba流(liú)量(liáng)控(kòng)製器
日(rì)本Horiba STEC SEC-E50氣(qì)體質量流(liú)量控製(zhì)器(qì)是(shì)一(yī)種計測(cè)和控製流(liú)體流量的裝(zhuāng)置(zhì)，質(zhì)量(liáng)流量(liáng)控製(zhì)器(qì)被廣(guǎng)泛的使用，例(lì)如半(bàn)導(dǎo)體工業(yè)，太(tài)陽能(néng)光(guāng)電工業和(hé)微加工製(zhì)造業等(děng)。
日(rì)本Horiba STEC SEC-E50氣體質量產(chǎn)品(pǐn)簡介(jiè)：
所謂質量流(liú)量(liáng)控(kòng)製器是一種(zhǒng)計測(cè)和(hé)控製(zhì)流體流量的(dí)裝(zhuāng)置。流體的流(liú)量計測(cè)通常(cháng)可分為體(tǐ)積流(liú)量和(hé)質量流量。體積流(liú)量由於受到計測時環境溫(wēn)度(dù)和(hé)壓力的影響，如(rú)需要準(zhǔn)確測(cè)定時，須對溫(wēn)度和(hé)壓力進行調整。而(ér)質量流量計(jì)在(zài)測定(dìng)流(liú)體(tǐ)質量的(dí)時候，不(bù)容易(yì)受(shòu)到環境(jìng)溫(wēn)度和(hé)壓力等外(wài)在因素的(dí)影響而能準(zhǔn)確地(dì)進(jìn)行流體(tǐ)測(cè)量。在(zài)須(xū)對(duì)流量進(jìn)行(háng)準(zhǔn)確計(jì)測(cè)和控製(zhì)的(dí)領域(yù)，質量流(liú)量(liáng)控製器被(bèi)廣泛(fàn)的使(shǐ)用，例如(rú)半導(dǎo)體工(gōng)業(yè)，太陽能光(guāng)電工(gōng)業和微加工(gōng)製(zhì)造(zào)業等。
日本(běn)Horiba STEC SEC-E50氣(qì)體(tǐ)質(zhì)量(liáng)流(liú)量控(kòng)製(zhì)器技術參(cān)數：
型號(hào)SEC-(質(zhì)量流量控(kòng)製器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF-(質量(liáng)流量計)E40E50
適用氣體種類*1 | 非腐(fǔ)蝕性(xìng)氣體(MK3型號適(shì)用(yòng)於(yú)N2，O2，空氣，H2，Ar，He) | |
氣(qì)體(tǐ)接觸(chù)部材(cái)質 | SUS316L.氟(fú)化橡(xiàng)膠.PTFE，磁(cí)性(xìng)不鏽鋼(gāng) | |
閥門型(xíng)號 | 非通電時 關(guān)閉 | |
標準(zhǔn)流量量程 (N2相應F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM |
流量控製(zhì)範(fàn)圍(wéi) | 2?100% F.S. | |
流量測(cè)量範圍 | 0?100% F.S. | |
響(xiǎng)應(yīng)速度(dù) | 1秒(miǎo)以(yǐ)內(nèi)(T98) | |
流量精(jīng)度 | ±1% F.S. | |
直(zhí)綫性 | ±0.5% F.S. | |
反(fǎn)復性(xìng) | ±0.2% F.S. | |
工作(zuò)差壓值(zhí)值(zhí) | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) | |
使(shǐ)用壓力 | 300kPa(G)以(yǐ)下 | |
耐(nài) 壓(yā) | 1MPa(G)以下 | |
外(wài)部(bù)泄(xiè)漏率(shuài) | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | |
使用環境溫(wēn)度 | 5?50℃(精度的(dí)確保：15?35℃) | |
流(liú)量設定(dìng)信(xìn)號(hào) | 0.1?5VDC(輸入(rù)阻抗1MΩ以(yǐ)上)/2?100% F.S. | |
流量輸(shū)出信(xìn)號 | 0?5VDC(很(hěn)小(xiǎo)負(fù)荷電(diàn)阻2kΩ) | |
驅動(dòng)電(diàn)源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
標準(zhǔn)接頭(tóu)*2 | 1/4SWL 類型 | |
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