日(rì)本(běn)Horiba STEC SEC-N100氣體質量(liáng)流(liú)量控製(zhì)器適(shì)用(yòng)於多種不(bù)同的產(chǎn)業應用(yòng)，可(kě)實現(xiàn)大(dà)範(fàn)圍控(kòng)製(zhì)從10SCCM至1000SLM。

日(rì)本Horiba STEC SEC-N100氣體質(zhì)量(liáng)產品簡(jiǎn)介(jiè)：

基於(yú)多年(nián)來(lái)先進(jìn)技(jì)術(shù)產(chǎn)品的(dí)市(shì)場發展(zhǎn)經(jīng)驗(yàn)，我們(mén)提供了(liǎo)一係列滿(mǎn)足客(kè)戶(hù)需求(qiú)的質量流量計(jì)產品(pǐn)。

氣體被廣(guǎng)泛(fàn)地運用(yòng)於(yú)各(gè)種工業領(lǐng)域(yù)，從太(tài)陽能電(diàn)池
，燃料(liào)電池的(dí)研究和(hé)製造，這(zhè)一(yī)獲得(dé)巨大(dà)關(guān)注(zhù)的再(zài)生(shēng)能(néng)源項目獲得(dé)全球(qiú)各地(dì)的(dí)支持;到半(bàn)導體(tǐ)
，液(yè)晶(jīng)麵板和(hé)在電子行業中使(shǐ)用的(dí)發光二*管(guǎn)(LED)的研(yán)究(jiū)和製(zhì)造(zào)。在這(zhè)些(xiē)製(zhì)造(zào)工(gōng)藝中，對各(gè)種氣體的(dí)流(liú)量進行(háng)準確(què)的測(cè)量和(hé)控(kòng)製顯著地提(tí)高了工作效(xiào)率，進而節約(yuē)了(liǎo)能源和提高了(liǎo)生(shēng)產(chǎn)力(lì)。HORIBA STEC致力於(yú)質量流(liú)量計的發展(zhǎn)，為先進的(dí)製造工(gōng)藝，包括半(bàn)導(dǎo)體
，光(guāng)電和(hé)LED的(dí)製(zhì)造(zào)提供服(fú)務，並(bìng)將(jiāng)繼(jì)續開發新(xīn)的產(chǎn)品(pǐn)來(lái)滿(mǎn)足客(kè)戶(hù)的需(xū)求。

日本Horiba STEC SEC-N100氣體(tǐ)質(zhì)量流(liú)量(liáng)控製器產品特征(zhēng)：

HORIBA STEC可以(yǐ)提供滿足您(nín)需求的(dí)全(quán)套產品。

此型號適合各(gè)種(zhǒng)小(xiǎo)流量到(dào)大(dà)流量的需要。

流(liú)量控(kòng)製範圍為標定滿量程(chéng)的(dí)2～100%

高(gāo)精度

■高精(jīng)度(設(shè)定點(diǎn)為基(jī)準(zhǔn))MFC的綫(xiàn)性(xìng)度(dù)將由近(jìn)似多項式曲綫(xiàn)進行補償(cháng)。這幫(bāng)助實(shí)現了對(duì)*有流(liú)量控(kòng)製(zhì)範圍的高精度(dù)控製。為(wéi)了(liǎo)實際氣體(tǐ)流(liú)量的準(zhǔn)確性(xìng)進(jìn)一(yī)步提(tí)高(gāo)，各(gè)種工藝氣體(tǐ)的(dí)校(xiào)準數(shù)據(jù)將(jiāng)按照HORIBA STEC標準(zhǔn)的(dí)氣體(tǐ)測(cè)量(liáng)係統進(jìn)行校(xiào)驗。

整(zhěng)個(gè)流量控(kòng)製(zhì)範(fàn)圍(wéi)內都可(kě)實現高響(xiǎng)應速(sù)度

■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response新的可變(biàn)PID運(yùn)算(suàn)法則(zé)：1秒高(gāo)速響(xiǎng)應SEC-N100 係列(liè)搭(dā)載了新開(kāi)發(fā)的“可變PID係(xì)統”，對於(yú)*有設置點它(tā)可以(yǐ)實(shí)現1秒(miǎo)內的高(gāo)響(xiǎng)應速(sù)度。當您(nín)改(gǎi)變標定滿量程和氣(qì)體(tǐ)種類(lèi)時，可變PID將根(gēn)據當下的(dí)設定點(diǎn)不(bù)斷變化(huà)，其PID參數也將隨之(zhī)被(bèi)優(yōu)化(huà)。

多氣體
，多量(liáng)程(chéng)的(dí)解(jiě)決方(fāng)案

■專(zhuān)用的軟(ruǎn)件賦(fù)予(yú)用戶可(kě)以(yǐ)自(zì)由(yóu)更改規(guī)格(gé)的能(néng)力新的多氣體
，多量(liáng)程(chéng)係統使(shǐ)用(yòng)戶自由(yóu)變(biàn)更氣體(tǐ)種(zhǒng)類(lèi)和量程(chéng)成為可能(néng)。

致力(lì)於(yú)成本考量，運用新(xīn)的(dí)設計概念

作為(wéi)N100係(xì)列的(dí)替代，HORIBA STEC也(yě)可(kě)以提供(gōng)具(jù)備(bèi)超(chāo)潔(jié)淨(jìng)處理(lǐ)以及(jí)壓電陶(táo)瓷(cí)閥(fá)門(mén)的Z500係(xì)列(liè)產品(pǐn)。請(qǐng)注意，在沒(méi)有通(tōng)知的(dí)情況(kuàng)下，可能(néng)會(huì)對某些需(xū)要提(tí)高(gāo)生(shēng)產率的(dí)部件和(hé)產品(pǐn)工(gōng)藝做出修改(gǎi)，但(dàn)不會(huì)牽涉到改(gǎi)變產(chǎn)品(pǐn)的規(guī)格(gé)。