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日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣(qì)體質量(liáng)流量控(kòng)製器主要用途(tú)為製(zhì)程用(yòng)的(dí)氣(qì)體(tǐ)流量(liáng)控(kòng)製，根(gēn)據(jù)關注於重(zhòng)復(fù)性以及(jí)限(xiàn)定(dìng)氣體的種(zhǒng)類(lèi)，流量進行大量生產(chǎn)，實(shí)現了(liǎo)大幅(fú)度的成(chéng)本降(jiàng)低。適合於定流(liú)量(liáng)，長時(shí)間(jiān)的(dí)穩定(dìng)控(kòng)製重復(fù)控(kòng)製(zhì)的(dí)場(cháng)合。而(ér)且也同樣適(shì)用(yòng)於(yú)研(yán)究所的簡(jiǎn)易流量(liáng)控(kòng)製(zhì)。
關鍵字：SEC-E40MK3,SEC-E40MK3流(liú)量控製器,日(rì)本Horiba流量(liáng)控製(zhì)器
日(rì)本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體(tǐ)質(zhì)量流(liú)量控製器主要(yào)用途為(wéi)製程用(yòng)的(dí)氣(qì)體(tǐ)流(liú)量控製，根據關注(zhù)於重(zhòng)復性(xìng)以及限(xiàn)定氣(qì)體(tǐ)的種類，流量(liáng)進(jìn)行(háng)大(dà)量生產(chǎn)，實現了大幅度(dù)的成本降低。適(shì)合(hé)於(yú)定(dìng)流量，長時(shí)間(jiān)的(dí)穩(wěn)定控製重(zhòng)復控(kòng)製(zhì)的場合。而(ér)且(qiě)也同樣(yàng)適(shì)用(yòng)於(yú)研究(jiū)所的簡易流(liú)量(liáng)控(kòng)製(zhì)。
日(rì)本Horiba STEC SEC-E40MK3氣(qì)體(tǐ)質(zhì)量產品簡介：
MARK3係(xì)列是在(zài)未(wèi)改變質量流(liú)量(liáng)控(kòng)製器所(suǒ)須品質特性的條件(jiàn)下*底實現成本降(jiàng)低的量產產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規格則(zé)與一(yī)般型號產(chǎn)品(pǐn)的SEC-400，SEC-500係(xì)列完(wán)全一(yī)致(zhì)。主要(yào)用途為製程用的(dí)氣體流(liú)量控製，根據(jù)關(guān)注(zhù)於(yú)重(zhòng)復(fù)性以及限定(dìng)氣(qì)體的種(zhǒng)類，流量進(jìn)行大(dà)量生產(chǎn)，實現(xiàn)了(liǎo)大(dà)幅度的(dí)成(chéng)本降低。適合於定(dìng)流量，長(cháng)時間的穩(wěn)定控(kòng)製重(zhòng)復控(kòng)製(zhì)的(dí)場(cháng)合(hé)。而且也同(tóng)樣適用於(yú)研(yán)究(jiū)所(suǒ)的(dí)簡易(yì)流(liú)量(liáng)控製(zhì)。
日本(běn)Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質量流量(liáng)控(kòng)製器產(chǎn)品特點：
高精度，流量設定後(hòu)快速(sù)應答(1秒(miǎo)之(zhī)內(nèi))。
具有自(zì)動調零(líng)功(gōng)能。
日(rì)本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量(liáng)流量控製器(qì)技(jì)術參(cān)數：
型號 | SEC- (質量(liáng)流量(liáng)控(kòng)製(zhì)器) | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 |
SEF- (質量(liáng)流量計(jì)) | E40 | E50 | |
適用(yòng)氣(qì)體種類*1 | 非腐(fǔ)蝕(shí)性(xìng)氣(qì)體(tǐ)(MK3型號適用(yòng)於N2，O2，空氣，H2，Ar，He) | ||
氣體接(jiē)觸部材質(zhì) | SUS316L.氟(fú)化(huà)橡(xiàng)膠(jiāo).PTFE，磁性(xìng)不鏽(xiù)鋼(gāng) | ||
閥門型(xíng)號 | 非(fēi)通電(diàn)時關閉 | ||
標準(zhǔn)流(liú)量量程 (N2相應F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
流量控製(zhì)範圍(wéi) | 2?100% F.S. | ||
流量(liáng)測量範(fàn)圍 | 0?100% F.S. | ||
響應速(sù)度 | 1秒以內(T98) | ||
流量精(jīng)度 | ±1% F.S. | ||
直(zhí)綫性(xìng) | ±0.5% F.S. | ||
反(fǎn)復(fù)性 | ±0.2% F.S. | ||
工作差(chà)壓值值 | 10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
使(shǐ)用(yòng)壓力(lì) | 300kPa(G)以下 | ||
耐壓(yā) | 1MPa(G)以下(xià) | ||
外(wài)部(bù)泄漏率(shuài) | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 | ||
使(shǐ)用環境溫度 | 5?50℃(精(jīng)度(dù)的確保：15?35℃) | ||
流量(liáng)設(shè)定信(xìn)號 | 0.1?5VDC(輸入阻(zǔ)抗(kàng)1MΩ以(yǐ)上(shàng))/2?100% F.S. | ||
流量輸(shū)出信(xìn)號 | 0?5VDC(很(hěn)小負(fù)荷電(diàn)阻2kΩ) | ||
驅動(dòng)電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
標(biāo)準(zhǔn)接(jiē)頭*2 | 1/4SWL 類型 | ||
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