日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體(tǐ)質量(liáng)流量控(kòng)製器適(shì)合(hé)於定流(liú)量(liáng),長(cháng)時(shí)間的(dí)穩定(dìng)控(kòng)製(zhì)重(zhòng)復控製的場(cháng)合。而(ér)且(qiě)也(yě)同(tóng)樣(yàng)適用(yòng)於研(yán)究(jiū)所的簡易(yì)流(liú)量控製。
關鍵字:SEC-E50MK3,SEC-E50MK3流(liú)量控製(zhì)器(qì),日(rì)本Horiba流量控製(zhì)器
日(rì)本(běn)Horiba STEC SEC-E50MK3氣(qì)體(tǐ)質量(liáng)流(liú)量控(kòng)製器適(shì)合(hé)於(yú)定流量,長(cháng)時間(jiān)的(dí)穩定控(kòng)製重復(fù)控(kòng)製的(dí)場合。而且也同樣適(shì)用於(yú)研究(jiū)所的簡易流量控(kòng)製。
日本(běn)Horiba STEC SEC-E50MK3氣(qì)體質量產品(pǐn)簡介(jiè):
MARK3係列是(shì)在(zài)未改變質量(liáng)流量控(kòng)製(zhì)器所須(xū)的(dí)品質(zhì)特性(xìng)的條件下*底(dǐ)實現(xiàn)成本降(jiàng)低的量產產品(pǐn)。材(cái)質和泄(xiè)漏規(guī)格則與(yǔ)一般型號產(chǎn)品的(dí)SEC-400,SEC-500係(xì)列(liè)完全一致(zhì)。主要用途為製(zhì)程(chéng)用的氣體(tǐ)流量(liáng)控(kòng)製(zhì),根(gēn)據關注(zhù)於重(zhòng)復(fù)性以及限定氣體的種類,流(liú)量(liáng)進行大量(liáng)生產(chǎn),實現了大(dà)幅度的成本(běn)降(jiàng)低(dī)。適合於(yú)定流量,長(cháng)時間的穩定控(kòng)製重(zhòng)復控製的場合(hé)。而且(qiě)也(yě)同樣適用於(yú)研(yán)究(jiū)所(suǒ)的(dí)簡(jiǎn)易(yì)流(liú)量控製(zhì)。
日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣(qì)體質量(liáng)流量(liáng)控製(zhì)器產(chǎn)品(pǐn)特征(zhēng):
具(jù)有廣(guǎng)泛的(dí)用途
追求(qiú)成(chéng)本優勢,實(shí)現成(chéng)本降低
日(rì)本(běn)Horiba STEC SEC-E50MK3氣(qì)體(tǐ)質量流量控製器技術(shù)參數:
型(xíng)號 | SEC- (質(zhì)量(liáng)流(liú)量控製器(qì)) | E40/E40MK3 | E50/E50MK3 |
SEF- (質(zhì)量流(liú)量計) | E40 | E50 | |
適用氣體種類*1 | 非腐(fǔ)蝕性氣體(tǐ)(MK3型號適用於(yú)N2,O2,空氣(qì),H2,Ar,He) | ||
氣體接觸(chù)部(bù)材質(zhì) | SUS316L.氟化橡膠(jiāo).PTFE,磁(cí)性(xìng)不鏽鋼(gāng) | ||
閥(fá)門(mén)型號 | 非通電(diàn)時(shí)關閉 | ||
標準(zhǔn)流量量程 (N2相(xiāng)應F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM | 20/30 SLM | |
流量控製(zhì)範圍(wéi) | 2?100% F.S. | ||
流量測(cè)量範(fàn)圍(wéi) | 0?100% F.S. | ||
響應速度 | 1秒(miǎo)以(yǐ)內(T98) | ||
流量(liáng)精(jīng)度(dù) | ±1% F.S. | ||
直綫性(xìng) | ±0.5% F.S. | ||
反復(fù)性 | ±0.2% F.S. | ||
工作(zuò)差壓(yā)值(zhí)值 | 10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d) | ||
使用壓(yā)力 | 300kPa(G)以(yǐ)下(xià) | ||
耐(nài)壓(yā) | 1MPa(G)以(yǐ)下(xià) | ||
外部(bù)泄(xiè)漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以(yǐ)下 | ||
使(shǐ)用(yòng)環境(jìng)溫度(dù) | 5?50℃(精(jīng)度的(dí)確保:15?35℃) | ||
流(liú)量(liáng)設定信(xìn)號 | 0.1?5VDC(輸(shū)入阻抗(kàng)1MΩ以上)/2?100% F.S. | ||
流(liú)量輸出信(xìn)號(hào) | 0?5VDC(很小負荷(hé)電阻2kΩ) | ||
驅動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA | +15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |
標準接頭(tóu)*2 | 1/4SWL 類型 | ||