日本Horiba STEC SEC-N102/N104/N106氣(qì)體(tǐ)質量流(liú)量控(kòng)製(zhì)器適(shì)用於多種不同(tóng)的產業應用(yòng)，可實現(xiàn)大(dà)範(fàn)圍(wéi)控製(zhì)從(cóng)10SCCM至1000SLM。

日(rì)本Horiba STEC SEC-N102/N104/N106氣(qì)體(tǐ)質(zhì)量產(chǎn)品簡介：

基於多(duō)年來先(xiān)進技術產品的市場(cháng)發(fā)展經驗(yàn)，我們(mén)提供了(liǎo)一係列滿足客(kè)戶需求(qiú)的質(zhì)量流量(liáng)計(jì)產品(pǐn)。

氣體(tǐ)被(bèi)廣泛地運用於(yú)各種工(gōng)業領域(yù)，從太陽能電(diàn)池
，燃料電(diàn)池的(dí)研(yán)究和製(zhì)造，這一獲得(dé)巨大關注的(dí)再生能源項目獲得(dé)全球(qiú)各(gè)地的支(zhī)持;到半導(dǎo)體(tǐ)
，液(yè)晶麵(miàn)板和在(zài)電(diàn)子(zǐ)行(háng)業(yè)中使用(yòng)的發(fā)光二(èr)*管(LED)的研(yán)究和(hé)製(zhì)造(zào)。在這些製造工藝中，對(duì)各種(zhǒng)氣(qì)體(tǐ)的(dí)流量進行(háng)準確的測量和控製顯著地提高了工作(zuò)效率，進(jìn)而節(jié)約(yuē)了能源和(hé)提高(gāo)了生(shēng)產力。HORIBA STEC致力於質量流量計的(dí)發展(zhǎn)，為先進(jìn)的(dí)製(zhì)造工藝，包(bāo)括半(bàn)導體
，光電和(hé)LED的(dí)製(zhì)造提供(gōng)服務(wù)，並(bìng)將繼續(xù)開(kāi)發(fā)新的產品來滿(mǎn)足(zú)客(kè)戶的需(xū)求(qiú)。

日(rì)本Horiba STEC SEC-N102/N104/N106氣體質量流量控(kòng)製器產品(pǐn)特征：

HORIBA STEC可以提(tí)供滿足您(nín)需(xū)求的(dí)全套產(chǎn)品。

此型(xíng)號適(shì)合各(gè)種小(xiǎo)流量(liáng)到(dào)大流(liú)量的(dí)需(xū)要(yào)。

流(liú)量(liáng)控(kòng)製(zhì)範(fàn)圍為(wéi)標(biāo)定滿(mǎn)量程(chéng)的2～100%

高精度

■高精度(dù)(設定(dìng)點為基(jī)準)MFC的綫性(xìng)度(dù)將由(yóu)近(jìn)似多項(xiàng)式曲(qū)綫進(jìn)行補償。這(zhè)幫助(zhù)實現了(liǎo)對(duì)*有(yǒu)流(liú)量(liáng)控製範圍的(dí)高精度(dù)控製(zhì)。為了實(shí)際(jì)氣體流(liú)量(liáng)的(dí)準確性進(jìn)一步提高，各(gè)種(zhǒng)工藝氣體(tǐ)的(dí)校(xiào)準數據(jù)將按照HORIBA STEC標(biāo)準的(dí)氣體(tǐ)測(cè)量係統(tǒng)進(jìn)行(háng)校(xiào)驗(yàn)。

整個(gè)流量(liáng)控製範(fàn)圍內都(dū)可(kě)實(shí)現高(gāo)響應速度(dù)

■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response新(xīn)的可變PID運(yùn)算法則：1秒高(gāo)速響應(yīng)SEC-N100 係列搭(dā)載(zǎi)了新開(kāi)發(fā)的“可(kě)變(biàn)PID係統”，對(duì)於*有設置(zhì)點(diǎn)它(tā)可以實現1秒內(nèi)的(dí)高(gāo)響應速度(dù)。當(dāng)您改變標定(dìng)滿量(liáng)程(chéng)和氣(qì)體種(zhǒng)類時(shí)，可變(biàn)PID將(jiāng)根(gēn)據當下(xià)的設定點(diǎn)不(bù)斷變(biàn)化，其PID參數(shù)也將(jiāng)隨(suí)之(zhī)被優(yōu)化。

多(duō)氣體
，多(duō)量(liáng)程的解(jiě)決方(fāng)案

■專(zhuān)用的軟(ruǎn)件(jiàn)賦(fù)予(yú)用戶(hù)可(kě)以(yǐ)自(zì)由(yóu)更改規(guī)格的(dí)能力新的(dí)多氣體(tǐ)
，多量程係(xì)統(tǒng)使(shǐ)用(yòng)戶(hù)自(zì)由變(biàn)更(gēng)氣體種類和量(liáng)程(chéng)成為可能(néng)。

致(zhì)力(lì)於(yú)成本考(kǎo)量，運用(yòng)新的設(shè)計(jì)概念

作為N100係列(liè)的替(tì)代(dài)，HORIBA STEC也可以提供(gōng)具(jù)備(bèi)超(chāo)潔淨(jìng)處(chǔ)理(lǐ)以及(jí)壓電(diàn)陶瓷閥(fá)門(mén)的Z500係(xì)列(liè)產品。請注意(yì)，在(zài)沒有(yǒu)通(tōng)知(zhī)的情況(kuàng)下，可能會(huì)對(duì)某(mǒu)些需要(yào)提(tí)高(gāo)生(shēng)產(chǎn)率的部(bù)件(jiàn)和產品工藝做出修改，但(dàn)不(bù)會(huì)牽涉(shè)到(dào)改變產(chǎn)品的(dí)規(guī)格(gé)。