日本Horiba S500氣(qì)體質(zhì)量流(liú)量(liáng)控製器適用於過程控(kòng)製中在綫實時的氣(qì)體流量(liáng)的準(zhǔn)確測量和控(kòng)製(zhì)。

日本(běn)Horiba S500氣體質(zhì)量產品簡介
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S500熱式質量流量(liáng)控製(zhì)器(qì)能夠在(zài)較(jiào)大的量(liáng)程範圍內(nèi)在綫實時地(dì)準確控(kòng)製氣流(liú)質(zhì)量流(liú)量(liáng)。利用氣流流過不(bù)鏽鋼毛細管(guǎn)，改變(biàn)毛細(xì)管溫度(dù)分布，造(zào)成(chéng)上下遊溫(wēn)差方(fāng)法(fǎ)，而測得(dé)氣(qì)體(tǐ)質量流(liú)量(liáng);不同於測(cè)壓(yā)力或測體積方法等(děng)類(lèi)別流量(liáng)計，其(qí)流量精(jīng)度不受(shòu)氣(qì)體壓(yā)力
，環境溫(wēn)度影響(xiǎng)。上下(xià)遊溫差(chà)測量(liáng)電路信號(hào)實(shí)時反映(yìng)氣流瞬時流(liú)量(liáng)，並(bìng)通(tōng)過PID電路(lù)實時(shí)控製比例電磁(cí)閥(fá)而準確(què)控製流量，所(suǒ)以特別(bié)適(shì)用於過(guò)程控(kòng)製中(zhōng)在(zài)綫實(shí)時的氣體流(liú)量的準(zhǔn)確測量和(hé)控製。

S500係(xì)列產(chǎn)品(pǐn)廣泛(fàn)應用於半(bàn)導體製造(zào)
，真空鍍(dù)膜(mó)
，分析
，化(huà)工
，環(huán)境(jìng)等(děng)行(háng)業的氣(qì)流(liú)測(cè)量與控製(zhì)。

日本(běn)Horiba S500氣(qì)體質量流量(liáng)控(kòng)製(zhì)器產品特(tè)點
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具有(yǒu)流(liú)量精(jīng)度高
，綫(xiàn)性好
，零(líng)漂(piāo)小
，氣流(liú)響應速(sù)度快
，過(guò)衝小等特點。

耐壓高及(jí)適(shì)用(yòng)於真空條件下工作(zuò)。氣(qì)體(tǐ)流量(liáng)不(bù)因溫度(dù)
，壓力(lì)的(dí)變化(huà)而變化(huà)。氣(qì)阻(zǔ)較小，工作(zuò)壓力(lì)範(fàn)圍(wéi)寬。

閥體采用(yòng)不(bù)鏽鋼(316L)結(jié)構，氣密材料采用(yòng)PTFE
，氟橡膠等。耐(nài)腐(fǔ)蝕(shí)性強。綫(xiàn)路(lù)板
，閥體(tǐ)
，彈(dàn)簧片
，精致(zhì)電阻和(hé)電容等為重要零(líng)部件(jiàn)，均(jūn)執(zhí)行嚴格的入(rù)廠標準(zhǔn)。

可(kě)任意(yì)角度安(ān)裝(zhuāng)。

電氣(qì)操作控(kòng)製(zhì)顯示(shì)，使(shǐ)用(yòng)方(fāng)便(biàn)。易(yì)於與電氣(qì)係(xì)統或自動控製係(xì)統(tǒng)配(pèi)合工(gōng)作。

日本(běn)Horiba S500氣體質量(liáng)流量控製(zhì)器技術(shù)參數(shù)
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滿量(liáng)程(chéng)流量(liáng)50mL/min一(yī)下的響應(yīng)時(shí)間為2S以內