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  • 日(rì)本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣(qì)體質量(liáng)流量(liáng)控製器(qì)

日(rì)本(běn)Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體(tǐ)質量流(liú)量(liáng)控(kòng)製器

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質量(liáng)流量控(kòng)製器是搭載(zǎi)有壓電閥(fá)，可在高溫(wēn)環境(jìng)中(zhōng)使用(yòng)的質量流量控製(zhì)器。

關(guān)鍵字(zì)：SEC-8440F,SEC-8450,SEC-8440F流量(liáng)控製器(qì),SEC-8450流量(liáng)控(kòng)製器,日(rì)本Horiba流(liú)量控製器

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產品(pǐn)詳情(qíng)

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣(qì)體(tǐ)質量流量(liáng)控(kòng)製器(qì)是搭載有壓電閥(fá)，可在(zài)高溫(wēn)環(huán)境中使用的(dí)質量(liáng)流量(liáng)控製(zhì)器。


日本(běn)Horiba STEC SEC-8440F 8450氣(qì)體質(zhì)量(liáng)產品(pǐn)簡介(jiè)：

質量流量計是(shì)用來(lái)測量或控製氣體流量的一種(zhǒng)設備(bèi)。流(liú)量(liáng)一(yī)般分為體(tǐ)積流量和質量流量，但(dàn)是(shì)氣體的體(tǐ)積易受(shòu)到(dào)外界(jiè)的溫度和壓力(lì)的影(yǐng)響，如需準(zhǔn)確(què)測量(liáng)，需(xū)不斷的(dí)改變(biàn)測量條件來配(pèi)合不斷改變的外(wài)界(jiè)環(huán)境。而質量流量(liáng)，是利(lì)用測量(liáng)氣體的質量，而(ér)質量是不(bù)受(shòu)外界的環(huán)境(jìng)的影響，從(cóng)而(ér)可以(yǐ)提(tí)供高(gāo)精(jīng)度流(liú)量(liáng)檢(jiǎn)測和(hé)控(kòng)製，且在(zài)半(bàn)導體(tǐ)製(zhì)造(zào)製程(chéng)有(yǒu)廣泛(fàn)的使(shǐ)用(yòng)。


日(rì)本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣(qì)體(tǐ)質(zhì)量(liáng)流(liú)量控(kòng)製器(qì)產(chǎn)品(pǐn)特(tè)點(diǎn)：

它是搭(dā)載(zǎi)有壓(yā)電(diàn)閥，可(kě)在(zài)高溫環(huán)境中使(shǐ)用(yòng)的質量流量(liáng)控製(zhì)器(qì)。

1.適用於(yú)高(gāo)溫：可滿(mǎn)足(zú)150℃烘(hōng)焙

2.產(chǎn)品陣容中有可(kě)滿足使用溫度(dù)的(dí)產(chǎn)品型號

3.超清潔類型(xíng)：接氣(qì)部(bù)全不(bù)鏽鋼(gāng)構(gòu)造

4.適(shì)於(yú)MOCVD用有(yǒu)機金屬材(cái)料(liào)，低蒸氣(qì)壓(yā)材料，腐蝕(shí)性氣體的流量(liáng)控製



日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣(qì)體(tǐ)質量(liáng)流(liú)量控(kòng)製器技術參(cān)數：

SEC-8340SL 搭(dā)載有主(zhǔ)體(tǐ)加溫加熱器

氣(qì)體接觸(chù)部材質SUS-316L
閥門類(lèi)型(xíng)NO: 非通(tōng)電(diàn)時(shí)：開
標準流量量程5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控製(zhì)範圍2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流(liú)量(liáng)精度±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量(liáng)程(chéng))  使用(yòng)溫度(dù)：80?9?1100℃

 

SEC-8340SM 本體加(jiā)溫ヒータ搭載(zài)

氣(qì)體接觸(chù)部(bù)材(cái)質SUS-316L
閥(fá)門類(lèi)型NO: 非(fēi)通電時(shí)：開
標(biāo)準流(liú)量量(liáng)程5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流(liú)量(liáng)控(kòng)製範圍2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流量精度(dù)±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量(liáng)程)  使用(yòng)溫度(dù)：100?9?1120℃

 

SEC-8440LSL

氣體(tǐ)接觸(chù)部材(cái)質SUS-316L
閥(fá)門類型NO: 非(fēi)通電時：開
標準(zhǔn)流量量程(chéng)5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流(liú)量控(kòng)製(zhì)範(fàn)圍2?9?1100％ F.S.(滿量(liáng)程)
流量(liáng)精(jīng)度±1.0％ F.S.(滿量程(chéng))  使(shǐ)用(yòng)溫度(dù)：15?9?135℃

 

SEC-8450LSL

氣體接(jiē)觸(chù)部(bù)材質SUS-316L
閥(fá)門(mén)類型NO: 非通電(diàn)時：開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程(chéng)10/20 SLM
流(liú)量(liáng)控製(zhì)範圍(wéi)2?9?1100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流(liú)量精度±1.0％ F.S.(滿量(liáng)程(chéng))  使(shǐ)用(yòng)溫(wēn)度：15?9?135℃

 

SEC-8455LSL

氣(qì)體(tǐ)接觸部材質(zhì)SUS-316L
閥(fá)門類型NO: 非通(tōng)電(diàn)時(shí)：開
標(biāo)準流量量程(chéng)30/50 SLM
流量(liáng)控製範圍(wéi)2?9?1100％ F.S.(滿量(liáng)程)
流量(liáng)精(jīng)度(dù)±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程)  使(shǐ)用溫度：15?9?135℃

 

SEC-8460LSL

氣體(tǐ)接(jiē)觸部材質SUS-316L
閥門類(lèi)型(xíng)NO: 非(fēi)通電時：開
標準(zhǔn)流(liú)量(liáng)量程(chéng)50/100 SLM
流(liú)量控製範(fàn)圍2?9?1100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量(liáng)精度(dù)±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程)  使用(yòng)溫度(dù)：15?9?135℃

 

SEC-8440LSM

氣體接觸部(bù)材(cái)質SUS-316L
閥門類(lèi)型(xíng)NO: 非通電時(shí)：開
標(biāo)準(zhǔn)流量(liáng)量程5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流(liú)量控(kòng)製範(fàn)圍2?9?1100％ F.S.(滿量程(chéng))
流(liú)量精度(dù)±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量(liáng)程(chéng))  使用溫度：35?9?160℃

 

SEC-8450LSM

氣(qì)體接(jiē)觸(chù)部材質SUS-316L
閥門類型(xíng)NO: 非(fēi)通電(diàn)時：開(kāi)
標準(zhǔn)流(liú)量量(liáng)程(chéng)10/20 SLM
流量控製範圍(wéi)2?9?1100％ F.S.(滿量(liáng)程)
流量精度±1.0％ F.S.(滿量程)  使用溫(wēn)度：35?9?160℃

 

SEC-8455LSM

氣(qì)體(tǐ)接(jiē)觸(chù)部材質SUS-316L
閥(fá)門(mén)類型(xíng)NO: 非通(tōng)電(diàn)時(shí)：開
標準流量(liáng)量(liáng)程(chéng)30/50 SLM
流量控製(zhì)範(fàn)圍(wéi)2?9?1100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流量精度(dù)±1.0％ F.S.(滿量(liáng)程(chéng))  使用溫(wēn)度：35?9?160℃

 

SEC-8460LSM

氣體接觸部材質SUS-316L
閥門類型NO: 非(fēi)通電(diàn)時(shí)：開(kāi)
標準(zhǔn)流(liú)量量(liáng)程50/100 SLM
流量控(kòng)製範圍2?9?1100％ F.S.(滿量程)
流(liú)量精(jīng)度±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量(liáng)程)  使(shǐ)用(yòng)溫(wēn)度：35?9?160℃

 

SEC-8440LSH

氣(qì)體(tǐ)接觸部材質SUS-316L
閥(fá)門類(lèi)型(xíng)NO: 非(fēi)通電時：開(kāi)
標準流(liú)量量程5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流(liú)量(liáng)控製(zhì)範圍(wéi)2?9?1100％ F.S.(滿(mǎn)量(liáng)程(chéng))
流量精度±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程(chéng))  使用(yòng)溫(wēn)度(dù)：60?9?180℃

 

SEC-8450LSH

氣體(tǐ)接觸部材(cái)質SUS-316L
閥(fá)門(mén)類型(xíng)NO: 非通電(diàn)時：開
標準流量量程10/20 SLM
流(liú)量控(kòng)製範(fàn)圍2?9?1100％ F.S.(滿(mǎn)量(liáng)程)
流(liú)量(liáng)精度±1.0％ F.S.(滿量(liáng)程)  使用溫度：60?9?180℃

 

SEC-8455LSH

氣體(tǐ)接觸部材質(zhì)SUS-316L
閥(fá)門類型(xíng)NO: 非通(tōng)電時：開(kāi)
標準(zhǔn)流量(liáng)量程(chéng)30/50 SLM
流量控製範圍2?9?1100％ F.S.(滿(mǎn)量程)
流(liú)量精(jīng)度±1.0％ F.S.(滿(mǎn)量程)  使用溫度：60?9?180℃