檢測控製範圍

5??100% F.S.

對象(xiàng)液體種類(lèi) *1

可(kě)腐蝕(shí)不鏽鋼的(dí)HCl.HF等(děng)液(yè)體(tǐ)除外。

液(yè)體粘度 *2

很大值(zhí). 0.1 Pa·s (100cp)

精度(dù) *3

±1% F.S.

直(zhí)綫性 *3

±0.5% F.S.

重復性 *3

±0.5% F.S.

響(xiǎng)應(yīng)精度(dù)

3秒以內(nèi) (T98)

2秒以內(nèi) (T98)

使(shǐ)用環(huán)境(jìng)溫度(dù) *4

5??50℃ (15 ?? 45℃精度(dù)的(dí)確保(bǎo))

溫(wēn)度影(yǐng)響(xiǎng) Span

±0.1%F.S./℃　很大(dà)值±1%

工(gōng)作(zuò)差(chà)壓值值(zhí) *5

很(hěn)大值. 5MPa (視為(wéi)流(liú)量(liáng)計) / 50??300kPa (with piezo 控製(zhì)閥(fá))

耐壓(yā)

10MPa (視(shì)為(wéi)流(liú)量計(jì))

壓力(lì)損失

很(hěn)大值(zhí). 500Pa

流(liú)量(liáng)設定信(xìn)號

模擬(nǐ)：0.25??5 VDC(輸入阻(zǔ)抗(kàng)1MΩ以上(shàng))數(shù)字式(shì)：RS485(F-Net通信(xìn)協議(yì))

流量輸出信號

模擬：0??5 VDC(很小(xiǎo)負(fù)荷電(diàn)阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協議)

驅動(dòng)電(diàn)源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外(wài)部泄漏規格(gé)

5×10-12Pa·m3/s (He)

接(jiē)液(yè)部材(cái)質

SUS316L, Ni

標準(zhǔn)接(jiē)頭(tóu)

1/16”
， 1/8” SWL類(lèi)型(xíng)
， 

1/8” VCR 類(lèi)型

1/8” SWL類(lèi)型(xíng)
， 1/8” VCR 類(lèi)型

1/4” SWL類型 

1/4” VCR 類型(xíng)

檢測(cè)控(kòng)製(zhì)範(fàn)圍

5??100% F.S.

對象(xiàng)液體(tǐ)種(zhǒng)類(lèi) *1

可腐蝕不鏽鋼(gāng)的HCl.HF等(děng)液體除外(wài)。

液(yè)體粘度(dù) *2

很大(dà)值(zhí). 0.01 Pa·s (10cp)

精(jīng)度 *3

±1% F.S.

直(zhí)綫性 *3

±0.5% F.S.

重(zhòng)復(fù)性(xìng) *3

±0.5% F.S.

響(xiǎng)應(yīng)精(jīng)度

3秒以(yǐ)內 (T98)

2秒(miǎo)以內(nèi) (T98)

使(shǐ)用環(huán)境(jìng)溫度 *4

5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保)

溫度影(yǐng)響Span

±0.1%F.S./℃　很大值±1%

工(gōng)作(zuò)差壓(yā)值(zhí) *5

0.05??0.3MPa

耐(nài)壓

1MPa

壓(yā)力(lì)損失(shī)

ー

流量(liáng)設定(dìng)信號(hào)

模擬(nǐ)：0.25??5 VDC(輸(shū)入阻(zǔ)抗1MΩ以(yǐ)上) 數(shù)字式(shì)：RS485(F-Net通(tōng)信(xìn)協(xié)議)

流(liú)量輸出信(xìn)號

模(mó)擬(nǐ)：0??5 VDC(很小(xiǎo)負(fù)荷電(diàn)阻(zǔ)2kΩ) 數(shù)字式(shì)：RS485(F-Net通(tōng)信(xìn)協(xié)議)

驅動電源(yuán)

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄(xiè)漏(lòu)規格(gé)

PO 類型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類(lèi)型(xíng)： 5×10-12Pa•m3/s (He)

接(jiē)液(yè)部(bù)材質(zhì)

PO 類型(xíng)：SUS316L
， Ni
， PTFE
， PFA　MO 類型(xíng)： SUS316L
，Ni

標準(zhǔn)接(jiē)頭

1/16”
， 1/8” SWL類型(xíng)
， 1/8” VCR 類型(xíng)

1/8 SWL類(lèi)型
，

 1/8”VCR 類型(xíng)

1/4” SWL類型(xíng)

1/4” VCR 類型