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日本Horiba STEC LE係(xì)列高溫大流(liú)量液(yè)體汽化(huà)器(qì)基(jī)於合理(lǐ)的內(nèi)部(bù)結構設計(jì)，和(hé)*效熱傳導材料的(dí)使(shǐ)用(yòng)，LE可實現*效(xiào)，大流量的液體汽化(huà)，可防治液體(tǐ)凝(níng)結(jié)。
關鍵字：STEC LE係列,LE係(xì)列高溫(wēn)大流(liú)量液體汽化器(qì),日(rì)本(běn)Horiba流量液體汽化器
日(rì)本Horiba STEC LE係(xì)列(liè)高溫(wēn)大流(liú)量液體(tǐ)汽化器基(jī)於合(hé)理的內部結構設(shè)計(jì)，和*效熱傳(chuán)導材料的(dí)使(shǐ)用，LE可實(shí)現*效，大(dà)流(liú)量(liáng)的(dí)液(yè)體(tǐ)汽化(huà)，可防治(zhì)液體(tǐ)凝結。
日(rì)本Horiba STEC LE係列高溫(wēn)大流(liú)量液體(tǐ)汽(qì)化器(qì)產品(pǐn)簡(jiǎn)介(jiè)：
基於合理(lǐ)的(dí)內部(bù)結(jié)構設計，和(hé)*效(xiào)熱(rè)傳導材料的(dí)使用，LE可實現*效，大流(liú)量(liáng)的液體汽化(huà)，可防(fáng)治液(yè)體凝(níng)結。較高(gāo)操作溫度可(kě)打300℃，IPA汽化量可(kě)達(dá)30g/min(或(huò)等價)。
日(rì)本Horiba STEC LE係列(liè)高溫(wēn)大流(liú)量液體(tǐ)汽化(huà)器產(chǎn)品(pǐn)特點：
創(chuàng)新(xīn)設計實現較大汽(qì)化(huà)率(shuài)
新的噴射器(qì)嘴(zuǐ)確保持(chí)續不斷(duàn)穩定(dìng)汽化
全不鏽鋼設計，很大程(chéng)度的避免腐蝕(shí)及(jí)減少顆粒物(wù)生產
支(zhī)持多種(zhǒng)液(yè)體源(yuán)汽化
日本(běn)Horiba STEC LE係列高溫(wēn)大流量液體(tǐ)汽(qì)化(huà)器(qì)規(guī)格(gé)參(cān)數(shù)：
已(yǐ)應(yīng)用液(yè)體(tǐ)源：H2O/IPA/TEOS/SICL4
很大(dà)汽(qì)化量(liáng)(氣體(tǐ)流量(liáng))：
H2O:10g/min (12.4 SLM)
IPA：30g/min (11.1 SLM)
TEOS:50g/min(5.3 SLM)
SiCl4：130g/min(17.1 SLM)
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