測(cè)試測(cè)量是人們(mén)從客觀(guān)事(shì)物(wù)中提取(qǔ)所(suǒ)需信(xìn)息(xī)，從(cóng)而(ér)認識(shí)客觀事物，掌(zhǎng)握其客(kè)觀規律的科(kē)學方(fāng)法(fǎ)。測試(shì)測量技術(shù)是通(tōng)過(guò)測試實(shí)現(xiàn)上述(shù)方(fāng)法(fǎ)的技術。測(cè)量(liáng)技術(shù)是一門(mén)應(yīng)用學科，它(tā)促(cù)進了(liǎo)測量(liáng)和儀(yí)器(qì)研究的(dí)進步和發(fā)展。

　　隨著科(kē)學技(jì)術的(dí)不斷發(fā)展(zhǎn)，測量儀(yí)器(qì)的應用已(yǐ)經深(shēn)入(rù)到生(shēng)活的(dí)各個方(fāng)麵，從國防(fáng)建設(shè)到(dào)生(shēng)產建(jiàn)設。由於(yú)需求不同，各(gè)種(zhǒng)測量儀(yí)器(qì)的(dí)用途和(hé)性能(néng)也不同。然(rán)而，隨(suí)著(zhuó)科研(yán)成(chéng)果(guǒ)在測量(liáng)儀(yí)器中的不(bù)斷應用，其(qí)使用越來(lái)越標準化(huà)，智能化，數字化和小(xiǎo)型化。

　　研(yán)究(jiū)現狀(zhuàng)及研究水(shuǐ)平

　　當(dāng)今(jīn)發展和製(zhì)造技術(shù)快速(sù)進(jìn)步引發(fā)了(liǎo)許(xǔ)多(duō)新型(xíng)計測(cè)問題，推動著傳感(gǎn)器(qì)，測(cè)試(shì)計量(liáng)儀(yí)器的研(yán)究與(yǔ)發(fā)展，促使測(cè)量技(jì)術(shù)中(zhōng)的新(xīn)原理，新技(jì)術，新裝置係統(tǒng)不(bù)斷(duàn)出現。和(hé)傳(chuán)統的計(jì)測技術(shù)比較(jiào)，現(xiàn)代(dài)測試計量技術呈現出一(yī)些新(xīn)的特點。

　　1. 測(cè)量(liáng)*確度(dù)不斷提高

　　測(cè)量範(fàn)圍不斷(duàn)擴大，在20 世紀(jì)的(dí)後50 年，一(yī)般(bān)機械加工(gōng)精度由0.1 mm 量級提(tí)高到(dào)0.001 mm量級(jí)， 相(xiāng)應(yīng)的幾何量測量精度(dù)從(cóng)1μm 提(tí)高(gāo)到0.01 μm～0.001 μm，其間測量(liáng)精(jīng)度提高了3 個數(shù)量級(jí)，這(zhè)種(zhǒng)趨勢將(jiāng)進一步(bù)持(chí)續。隨(suí)著MEMS，微(wēi)/ 納(nà)米(mǐ)技(jì)術(shù)的(dí)興起(qǐ)與發展，以及(jí)人(rén)們對(duì)微觀世(shì)界(jiè)探索的不斷深入(rù)，測量對(duì)象尺度(dù)越來越(yuè)小(xiǎo)，達到(dào)了納(nà)米量級;另一方麵，由於(yú)大(dà)型(xíng)，超大型機械(xiè)係(xì)統(電(diàn)站機組(zǔ)，航空(kōng)航天(tiān)製(zhì)造)，機電工(gōng)程(chéng)的(dí)製造(zào)，安裝水(shuǐ)平提高，以(yǐ)及人(rén)們對於空間(jiān)研究(jiū)範(fàn)圍(wéi)的擴大，測量(liáng)對象(xiàng)尺(chǐ)度(dù)越(yuè)來(lái)越大(dà)，導致從微(wēi)觀(guān)到(dào)宏(hóng)觀的尺(chǐ)寸測量(liáng)範圍不(bù)斷擴大，目前已(yǐ)達10-15～1025 的範圍(wéi)，相差40 個數量(liáng)級(jí)之巨。類似(sì)地，在(zài)力(lì)值測量上(shàng)，相(xiāng)差約14 個數量級;在(zài)溫(wēn)度(dù)測(cè)量中(zhōng)，相(xiāng)差約12 個數(shù)量(liáng)級。

　　2. 從靜態測(cè)量(liáng)到(dào)動態(tài)測量

　　從非(fēi)現場測(cè)量(liáng)到現場在綫靜態測量使(shǐ)科學研究從定性科學(xué)走(zǒu)向定量科學，實現(xiàn)了(liǎo)人(rén)類認(rèn)識(shí)的(dí)一次飛躍。現在乃(nǎi)至(zhì)今(jīn)後，各種運動(dòng)狀態下，製造(zào)過(guò)程中，物(wù)理化學(xué)反應(yīng)進程(chéng)中(zhōng)等動(dòng)態物理(lǐ)量測(cè)量(liáng)將越來越(yuè)普(pǔ)及，促使測量(liáng)方式由靜態向(xiàng)動態的(dí)轉(zhuǎn)變(biàn)。現代製造業(yè)已呈(chéng)現出(chū)和(hé)傳統製造不(bù)同的(dí)設計理(lǐ)念，製(zhì)造(zào)技術(shù)，測量已不(bù)僅僅是*終產(chǎn)品(pǐn)質量評定(dìng)的手(shǒu)段(duàn)，更(gēng)重要的是(shì)為產(chǎn)品設(shè)計(jì)，製(zhì)造服務(wù)，以及(jí)為(wéi)製造過程提供完(wán)備(bèi)的過程(chéng)參(cān)數和環(huán)境參數(shù)，使產品(pǐn)設計，製造過程和檢(jiǎn)測手(shǒu)段(duàn)充(chōng)分集(jí)成(chéng)，形成(chéng)一(yī)體(tǐ)的具(jù)備自主感(gǎn)知一定內外環境(jìng)參(cān)數(狀(zhuàng)態(tài))，並(bìng)作相應調(tiáo)整的(dí)“智能製(zhì)造係(xì)統(tǒng)”，要求測(cè)量(liáng)技術從傳統(tǒng)的非(fēi)現(xiàn)場(cháng)，事後測(cè)量，進入製造現(xiàn)場(cháng)，參(cān)與(yǔ)到(dào)製(zhì)造過(guò)程，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(cháng)在綫(xiàn)測(cè)量。

　　3. 從簡(jiǎn)單信息獲取到多信(xìn)息融(róng)合(hé)

　　傳統的測(cè)量(liáng)問(wèn)題涉及(jí)的測(cè)量信(xìn)息種(zhǒng)類比(bǐ)較(jiào)單(dān)一，現代測量(liáng)信(xìn)息係(xì)統(tǒng)則(zé)復(fù)雜(zá)得(dé)多，往往(wǎng)包(bāo)括多種類(lèi)型的(dí)被測(cè)量。信(xìn)息量大，如大批量工業製造的(dí)在綫測(cè)量，每(měi)天的(dí)測(cè)量數(shù)據高(gāo)達幾十萬，又(yòu)如產品數字(zì)化(huà)設計(jì)與製(zhì)造(zào)過程中，包含(hán)了巨(jù)量數據信息。巨(jù)量(liáng)信息(xī)的可靠，快(kuài)速(sù)傳輸(shū)和(hé)*效(xiào)管(guǎn)理以(yǐ)及如(rú)何消除各種(zhǒng)被測量(liáng)之間的(dí)相互(hù)幹(gān)擾，從中挖掘(jué)多(duō)個測(cè)量(liáng)信(xìn)息(xī)融(róng)合(hé)後(hòu)的(dí)目(mù)標信息(xī)將(jiāng)形(xíng)成一(yī)個新興的研(yán)究領(lǐng)域，即多信息(xī)融(róng)合(hé)。

　　4 幾何量和非幾何(hé)量集(jí)成(chéng)

　　傳(chuán)統(tǒng)機(jī)械係統和製(zhì)造中的(dí)測量問題，主(zhǔ)要(yào)麵對(duì)幾(jī)何(hé)量測量。當(dāng)前復雜(zá)機電(diàn)係統(tǒng)功能擴大，*確度提(tí)高，係(xì)統性(xìng)能涉及(jí)多種(zhǒng)參數(shù)，測(cè)量(liáng)問題已不*限於幾何量，而且，日益發展(zhǎn)的微(wēi)納(nà)尺(chǐ)度(dù)下的(dí)係統(tǒng)與結(jié)構(gòu)，其機(jī)械作用機理(lǐ)和(hé)通常尺度(dù)下的係(xì)統也(yě)有顯著區別(bié)。為(wéi)此(cǐ)，在測(cè)量領(lǐng)域，除幾何量(liáng)外(wài)，應(yīng)當(dāng)將其他(tā)機(jī)械工程(chéng)研(yán)究中常用(yòng)的物(wù)理(lǐ)量包(bāo)括在(zài)內(nèi)，如(rú)力學(xué)性能(néng)參數(shù)，功能(néng)參數(shù)等。

　　5. 測(cè)量(liáng)對(duì)象復(fù)雜(zá)化，測量(liáng)條件(jiàn)*端(duān)化

　　當前(qián)部分測量問題(tí)出(chū)現測量(liáng)對象復雜化，測量條(tiáo)件*端(duān)化(huà)的趨(qū)勢(shì)有(yǒu)時候(hòu)需(xū)要測(cè)量(liáng)的是整(zhěng)個機(jī)器(qì)或裝(zhuāng)置(zhì)，參數多(duō)樣(yàng)且(qiě)定(dìng)義復雜(zá);有時(shí)候(hòu)需要(yào)在高溫，高壓，高(gāo)速，高(gāo)危場合等環境中進行(háng)測量，使得測量條件(jiàn)*端化。

　　6 虛(xū)擬儀器(qì)技(jì)術獲得了(liǎo)廣(guǎng)泛應用(yòng)

　　虛擬(nǐ)儀器(Virtual Instrument)是日益(yì)發(fā)展的(dí)計算機(jī)硬件，軟(ruǎn)件和(hé)總綫(xiàn)技術在(zài)向其(qí)他技術領域(yù)密集滲(shèn)透的過程(chéng)中，與測(cè)試技術，儀(yí)器(qì)技術密(mì)切結合(hé)，共(gòng)同孕育出的(dí)一(yī)項(xiàng)全(quán)新(xīn)成果(guǒ)，其(qí)核(hé)心(xīn)是(shì)：以(yǐ)計(jì)算機(jī)作為(wéi)儀(yí)器統一(yī)的硬件平台(tái)，充(chōng)分(fēn)利用(yòng)計算機*具的(dí)運算(suàn)，大容(róng)量(liáng)存儲(chǔ)，回(huí)放，調用(yòng)，顯(xiǎn)示以及(jí)文件管理(lǐ)等(děng)智能化功(gōng)能，同時把(bǎ)傳統儀器的(dí)專(zhuān)業(yè)化功能(néng)和麵(miàn)板(bǎn)控件軟件(jiàn)化(huà)，使(shǐ)之(zhī)與計算(suàn)機結合(hé)起(qǐ)來(lái)融(róng)為一體，從(cóng)而(ér)構成一台外(wài)觀與傳(chuán)統硬件儀器(qì)相同(tóng)，功能得(dé)到顯著加(jiā)強(qiáng)，充(chōng)分享用計(jì)算(suàn)機智(zhì)能資(zī)源(yuán)的全新儀(yí)器係統(tǒng)。

　　虛擬儀器(qì)技(jì)術在高壓電測量中(zhōng)的應(yīng)用(yòng)

　　存(cún)在的問題和差距(jù)

　　縱(zòng)觀我國計量測(cè)試技術及(jí)儀器設(shè)備(bèi)的(dí)歷史與現狀(zhuàng)，和國(guó)外先(xiān)進(jìn)水(shuǐ)平相比，存(cún)在(zài)下列不足(zú)：

　　(1)對(duì)技(jì)術(shù)創新(xīn)重(zhòng)視(shì)不(bù)夠，自主(zhǔ)創(chuàng)新能力(lì)較差，原(yuán)創技(jì)術少(shǎo)。

　　在已(yǐ)有(yǒu)的主流計量測試(shì)技術及儀(yí)器(qì)設備中(zhōng)，很少(shǎo)有(yǒu)我們(mén)自己(jǐ)的原創(chuàng)技(jì)術(shù)。誠(chéng)然，和其他學科(kē)類(lèi)似，原(yuán)創(chuàng)涉(shè)及(jí)理論基礎和行(háng)業(yè)積(jī)累，長期以來(lái)我國(guó)和(hé)工業發達*家(jiā)在製(zhì)造技術(shù)上(shàng)的差距(jù)，相(xiāng)當程度(dù)上(shàng)影(yǐng)響了計量(liáng)測試技(jì)術的(dí)研(yán)發(fā)能(néng)力，但不可(kě)否認(rèn)的(dí)是(shì)，對計量測(cè)試(shì)技(jì)術(shù)的作(zuò)用和地位認(rèn)識不充分，研究(jiū)力度和(hé)資(zī)金(jīn)投(tóu)入不足(zú)，研究工作(zuò)不(bù)紮實，急功近(jìn)利，隻重數量不(bù)重質量(liáng)，不(bù)重視(shì)工(gōng)程應用等因素(sù)，也直(zhí)接(jiē)促成(chéng)了當(dāng)前(qián)研究缺乏活(huó)力(lì)的狀(zhuàng)況。

　　(2)*端(duān)，高附加值測量儀器設備幾(jī)乎(hū)空白。

　　當(dāng)前(qián)主(zhǔ)流行(háng)業(yè)應(yīng)用(yòng)中(zhōng)的*端(duān)儀器設(shè)備，國內(nèi)品(pǐn)牌被排(pái)斥(chì)在外。*端(duān)儀器(qì)有(yǒu)著很高(gāo)的附加值和商業利潤，常常(cháng)是(shì)一隻進(jìn)口的便(biàn)攜式儀器箱(xiāng)容納(nà)的設備(bèi)價值超(chāo)過(guò)100 萬RMB，甚(shèn)至更多，而一套(tào)大(dà)型的國產儀(yí)器(qì)設(shè)備(bèi)隻(zhī)有相(xiāng)對(duì)低廉(lián)的(dí)利(lì)潤。*端(duān)儀(yí)器(qì)設備(bèi)的高額利(lì)潤建(jiàn)立在高技(jì)術含(hán)量(liáng)的(dí)基(jī)礎(chǔ)上(shàng)，因為(wéi)利潤高(gāo)，保證了後(hòu)續研(yán)發有充(chōng)足(zú)的資(zī)金(jīn)投入，形成(chéng)了良性循(xún)環(huán)。與此(cǐ)形成反差的是(shì)，國內(nèi)建(jiàn)立在原(yuán)材(cái)料和人(rén)力成本優勢(shì)基礎上的(dí)儀器(qì)設備，必然(rán)利(lì)潤(rùn)微(wēi)薄，繼而(ér)造(zào)成研(yán)發投(tóu)入不(bù)足，嚴(yán)重(zhòng)製(zhì)約著我(wǒ)國(guó)測(cè)試(shì)計(jì)量技術(shù)及(jí)儀器設備(bèi)的進一步發展(zhǎn)。

　　(3)測(cè)試計量技術是麵(miàn)向工程應(yīng)用的(dí)學(xué)科，推動學科(kē)發展(zhǎn)的(dí)主(zhǔ)要(yào)動力(lì)來源(yuán)於(yú)應用(yòng)需求，理論(lùn)成果如(rú)無工程背景(jǐng)，不能解決(jué)工(gōng)程應用(yòng)中(zhōng)的測(cè)量(liáng)問題，則(zé)意(yì)義和(hé)價值將大打(dǎ)折扣。

　　況且(qiě)，我國(guó)在(zài)測試(shì)計量理論(lùn)上也很薄弱(ruò)，近年來(lái)雖發(fā)表(biǎo)了(liǎo)大(dà)量(liáng)的(dí)學術(shù)論文，出現(xiàn)了(liǎo)很(hěn)多(duō)研究成果(guǒ)，高(gāo)水(shuǐ)平，實(shí)用性強的成果不夠多，而較多的則是(shì)低水(shuǐ)平重復(fù)。此(cǐ)外，由於行業原(yuán)因(yīn)，我國(guó)計量(liáng)測量(liáng)從業人(rén)員(yuán)較(jiào)少，業務素質整(zhěng)體(tǐ)水(shuǐ)平(píng)不高(gāo)，人(rén)才(cái)流失，尤其是高(gāo)層次(cì)人才(cái)流(liú)失(shī)嚴(yán)重，也嚴(yán)重阻礙了學科(kē)的發(fā)展。

　　測試(shì)計量技術(shù)的(dí)發(fā)展(zhǎn)趨(qū)勢

　　當前的傳感，測試計量(liáng)和計測儀(yí)器(qì)在機(jī)械(xiè)係統(tǒng)和製造過程中的作用(yòng)和重要(yào)性較之過去(qù)有明顯提高(gāo)，已(yǐ)作(zuò)為*須的(dí)組成(chéng)部(bù)分參與到係統的(dí)功能中。這(zhè)種地位的變(biàn)化(huà)，加(jiā)之機(jī)械及(jí)製造(zào)技(jì)術的快速發(fā)展(zhǎn)促使(shǐ)對傳感器，測(cè)量儀(yí)器的(dí)研(yán)究不斷(duàn)深(shēn)入，內(nèi)容不(bù)斷(duàn)拓展(zhǎn)，使得當(dāng)前乃(nǎi)至將來一(yī)段時間內，該(gāi)領(lǐng)域(yù)內(nèi)研(yán)究(jiū)的問題(tí)都將主(zhǔ)要集中(zhōng)在(zài)傳感(gǎn)原理(lǐ)，數字化測(cè)量，超*密(mì)測量，測量理論及基準標準(zhǔn)等方麵。其(qí)中涉(shè)及的共(gòng)性(xìng)問(wèn)題(tí)有：新(xīn)型(xíng)傳感原(yuán)理及(jí)技術，先(xiān)進製(zhì)造的現(xiàn)場，非接觸及數字化測(cè)量(liáng)，機(jī)械測(cè)試類(lèi)儀器(qì)“有(yǒu)界無限”統(tǒng)一模型的(dí)建(jiàn)立(lì)及(jí)實現(xiàn)，超大尺(chǐ)寸*密(mì)測量，微(wēi)/ 納(nà)米級超*密(mì)測(cè)量，基準(zhǔn)標(biāo)準及相關(guān)測量理論研究(jiū)等(děng)，上述(shù)問題的研究也(yě)是(shì)測量技術研究(jiū)領域內(nèi)*具活力，*有代表性的研(yán)究方(fāng)向。

　　1，新的測試(shì)計量問(wèn)題(tí)的不斷出現

　　新的測(cè)量問題(tí)不斷(duàn)出(chū)現(xiàn)和*終解決(jué)有(yǒu)賴於(yú)傳(chuán)感(gǎn)原理(lǐ)和測(cè)量(liáng)傳感(gǎn)器(qì)研究的(dí)創(chuàng)新(xīn)。綜合目前國(guó)內(nèi)外研究(jiū)狀(zhuàng)況(kuàng)，該(gāi)領域大(dà)致(zhì)有兩(liǎng)方麵主(zhǔ)要工作：(1)研究(jiū)開發全新傳感器(qì)原理和(hé)傳(chuán)感器;(2) 深入研(yán)究和改進(jìn)已有的傳(chuán)感原理和傳感器(qì)，以獲(huò)得(dé)更好的性能。前者(zhě)如(rú)近(jìn)年來獲得廣泛關注(zhù)的基(jī)於MEMS 工(gōng)藝(yì)的集成(chéng)多參數傳感器(qì)，耐高溫壓(yā)力(lì)傳(chuán)感器，微慣(guàn)性傳感器，光(guāng)纖傳感(gǎn)器(qì)等;後者如電容，電感，電(diàn)渦(wō)流，光柵尺(chǐ)，磁柵尺(chǐ)，觀(guān)測型掃描電鏡(jìng)，激(jī)光(guāng)幹涉(shè)儀(yí)等(děng)傳(chuán)統傳(chuán)感器的(dí)深(shēn)入原理(lǐ)研究和性(xìng)能改(gǎi)進措施(shī)。

　　2，測(cè)試(shì)計量(liáng)技術應該符(fú)合現代(dài)製造的要(yào)求(qiú)

　　傳統的製(zhì)造係(xì)統中(zhōng)，製造和檢(jiǎn)測常常是(shì)分(fēn)離的，測(cè)量環(huán)境(jìng)和製造環境(jìng)不一(yī)致，測量的(dí)目(mù)的(dí)是(shì)判(pàn)斷(duàn)產(chǎn)品是否合(hé)格(gé)，測量信息對製造(zào)過程(chéng)無(wú)直(zhí)接影(yǐng)響。現代(dài)製造業已呈現出和(hé)傳統(tǒng)製造不(bù)同的(dí)設(shè)計(jì)理念(niàn)，製造(zào)技術，測量技術(shù)應(yīng)當(dāng)從傳統(tǒng)的(dí)非現(xiàn)場(cháng)，“事後(hòu)”測量(liáng)，進(jìn)入製(zhì)造現場，參(cān)與(yǔ)到製(zhì)造過(guò)程，實現(xiàn)現場在(zài)綫測(cè)量。現場，在綫測(cè)量(liáng)的(dí)共(gòng)同問(wèn)題(tí)包括非接(jiē)觸，快(kuài)速(sù)測(cè)量傳感器研製(zhì)與(yǔ)開(kāi)發(fā)，測(cè)量係(xì)統及其(qí)控製，測量(liáng)設備(bèi)與(yǔ)製造設備(bèi)的集成幾方麵(miàn)。近年來數字(zì)化(huà)測(cè)量(liáng)的迅速(sù)發展為(wéi)先進製(zhì)造中(zhōng)的(dí)現(xiàn)場，非(fēi)接觸測量(liáng)提(tí)供了有效解決方案(àn)，多(duō)尺(chǐ)寸視(shì)覺在綫測量(liáng)，數(shù)碼(mǎ)柔性坐標(biāo)測(cè)量，機器人測(cè)量機，三維形(xíng)貌測(cè)量(liáng)等(děng)數字(zì)化測(cè)量(liáng)原(yuán)理，技(jì)術與(yǔ)係(xì)統(tǒng)的(dí)研究取得了顯著的(dí)研究成(chéng)果，並獲(huò)得成(chéng)熟的工(gōng)業應用。

　　3D掃描計(jì)量

　　3，領域測試(shì)類(lèi)儀器統一模(mó)型(xíng)的建(jiàn)立

　　領(lǐng)域測(cè)試類(例(lì)如(rú)機(jī)械測試類(lèi))儀器的(dí)“有界無(wú)限(xiàn)”統一模型的(dí)建立(lì)。所謂“有界無限”是指(zhǐ)領域測試是一個“界(jiè)”，隻要(yào)在(zài)這(zhè)個“界”內，同(tóng)類(lèi)測試(shì)的(dí)功(gōng)能(néng)或(huò)儀器都將被(bèi)包(bāo)含或(huò)可添(tiān)加到(dào)這(zhè)一係統中。這(zhè)一(yī)統一模(mó)型(xíng)稱(chēng)之(zhī)為(wéi)“岩石模(mó)型(xíng)”。基於這(zhè)一(yī)模型理(lǐ)論(lùn)，對(duì)測(cè)試功(gōng)能虛擬(nǐ)控(kòng)件(jiàn)進(jìn)行多次，深度(dù)集(jí)成(chéng)製造便(biàn)可由(yóu)上(shàng)述(shù)模型(xíng)演(yǎn)變成(chéng)為一個“有界(jiè)無(wú)限”，包含大(dà)量測試(shì)儀(yí)器並(bìng)可實(shí)際使用的復(fù)雜(zá)，巨型虛(xū)擬測試儀(yí)器(qì)庫。這(zhè)是(shì)一(yī)個復雜(zá)的(dí)功能(néng)測試係統(tǒng)，同時(shí)也是一個開放(fàng)的係(xì)統。對(duì)於他(tā)已有(yǒu)的資源(yuán)可以立(lì)即滿足測試的要求，他(tā)還(huán)沒有(yǒu)的資(zī)源可(kě)以(yǐ)很(hěn)快地在(zài)模型(xíng)內自(zì)動生(shēng)成或(huò)開發，從而(ér)可以繼(jì)續(xù)滿足任何新(xīn)的(dí)測(cè)試需求。通(tōng)過(guò)這一(yī)模型的建(jiàn)立(lì)，將使傳統儀(yí)器(qì)的“單機”概念(niàn)消(xiāo)失，代(dài)之(zhī)而(ér)起的是經多次，深度集(jí)成(chéng)製(zhì)造而成的大(dà)型(xíng)“儀(yí)器庫”。在將(jiāng)來(lái)的(dí)測試儀(yí)器中(zhōng)，儀器(qì)庫(kù)將成為測試測量所(suǒ)使(shǐ)用(yòng)的(dí)儀器(qì)“單(dān)位”，而(ér)同一行業的(dí)隻需(xū)使用(yòng)這一儀器“單(dān)位(wèi)”便(biàn)可滿(mǎn)足其全(quán)部測(cè)試要求。

　　4，微/納(nà)米技(jì)術(shù)迅速發展

　　微(wēi)/納(nà)米(mǐ)技術(shù)作為當前(qián)發(fā)展(zhǎn)*迅速，研究廣泛，投(tóu)入*多(duō)的科(kē)學技(jì)術(shù)之一，被(bèi)認為(wéi)是(shì)當(dāng)前科技(jì)發展的(dí)重(zhòng)要(yào)前沿(yán)。在該科技中，微/納(nà)米的超*密測量技術(shù)是代表性(xìng)的(dí)研(yán)究(jiū)領域，也是微(wēi)/納(nà)米(mǐ)科(kē)技得以發展(zhǎn)的(dí)前提和(hé)基(jī)礎(chǔ)。在微(wēi)/納(nà)測量領域，基(jī)礎(chǔ)問(wèn)題包(bāo)括納(nà)米計量，納米測(cè)量係統理論(lùn)與設計(jì)，微觀形貌測量等(děng)方麵，主要研究(jiū)問題(tí)和方(fāng)向為(wéi)：基(jī)於(yú)掃描(miáo)電子顯(xiǎn)微鏡的*密(mì)納米(mǐ)計(jì)量(liáng)，微(wēi)納(nà)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(分子測(cè)量(liáng)機)，基(jī)於(yú)幹涉的(dí)非接觸微(wēi)觀形(xíng)貌測量(liáng)，基於(yú)原子晶(jīng)格作(zuò)刻度(dù)的X 射綫幹(gān)涉測(cè)量及(jí)其(qí)與光學(xué)幹(gān)涉儀的(dí)組合(hé)原理(lǐ)，納米(mǐ)測(cè)量(liáng)係(xì)統(tǒng)設計(jì)理論和微(wēi)納(nà)尺寸測量條(tiáo)件的(dí)研究等(děng)。涉及的重要(yào)工程測(cè)量問(wèn)題有：麵(miàn)向MEMS 和MOEMS 的微尺(chǐ)度測量，麵(miàn)向22 nm～45 nm*大規(guī)模(mó)集成電(diàn)路(lù)製造的測量等。

　　*密測量(liáng)顯微鏡

　　5，發(fā)展超(chāo)大(dà)尺寸測量(liáng)和(hé)超(chāo)大(dà)型(xíng)設(shè)備

　　超大尺(chǐ)寸測(cè)量(liáng)的主要任務是獲取(qǔ)與(yǔ)評價(jià)大型和超大(dà)型裝備(bèi)與係統製造過程(chéng)中(zhōng)機(jī)械(xiè)特性(xìng)和物(wù)理特(tè)性(xìng)等(děng)信息(xī)，分析(xī)各影響製(zhì)造(zào)性能(néng)的要素與機理，為(wéi)提(tí)升製造能(néng)力與水(shuǐ)平提(tí)供(gōng)科學依據(jù)。在(zài)超大(dà)尺寸測(cè)量(liáng)領(lǐng)域內的(dí)，共性(xìng)基(jī)礎問題包(bāo)括距(jù)離測量原理(lǐ)，超大尺(chǐ)寸空間坐標測(cè)量(liáng)，超(chāo)大(dà)尺寸(cùn)測量的現(xiàn)場(cháng)溯源(yuán)原理與方(fāng)法(fǎ)。代(dài)表(biǎo)性(xìng)研(yán)究方(fāng)向和重要(yào)測量(liáng)問(wèn)題(tí)，如：大尺寸，高(gāo)速跟蹤坐標(biāo)測(cè)量係(xì)統(tǒng);車間範(fàn)圍空間定(dìng)位係(xì)統(tǒng)(WPS);GPS 在(zài)超(chāo)大機械係(xì)統中的(dí)應用(yòng)關鍵技(jì)術;數(shù)字造船中結(jié)構(gòu)尺寸，容積測(cè)量;飛(fēi)機(jī)製造中(zhōng)形狀尺(chǐ)寸測量(liáng);超大型(xíng)電站裝(zhuāng)備(bèi)和(hé)重機裝備(bèi)製造(zào)中(zhōng)的(dí)測量;麵向大型*端裝(zhuāng)備製造(zào)的(dí)超*密測(cè)量等。

　　6，大(dà)力發展(zhǎn)基(jī)準，標準技(jì)術(shù)

　　基準(zhǔn)標準技(jì)術是測試計量技術水平的*高表(biǎo)現形(xíng)式，是發展超*密製(zhì)造的(dí)前(qián)提(tí)和(hé)保障，也是引導促進先進加工(gōng)和測(cè)量技(jì)術(shù)發(fā)展的技(jì)術(shù)基(jī)礎。基準標(biāo)準技術滯後(hòu)將嚴重製約*密製(zhì)造(zào)和裝備製造(zào)業(yè)的發展(zhǎn)。尤其是(shì)，在過(guò)去的(dí)10年中超精(jīng)加工技術(shù)的(dí)提高使得工業(yè)界可(kě)以製造(zào)以(yǐ)前難(nán)以想(xiǎng)象(xiàng)的(dí)微小(xiǎo)和形狀復(fù)雜(zá)的(dí)工件，表麵粗糙(cāo)度(dù)正在(zài)達(dá)到(dào)原子(zǐ)級(jí)尺(chǐ)度，並可由像原子力顯(xiǎn)微鏡等(děng)這樣復雜的顯微(wēi)鏡來(lái)進(jìn)行測(cè)量(liáng)。但是(shì)相應的標準(zhǔn)還沒有(yǒu)製(zhì)定，需要(yào)製(zhì)定新的(dí)納(nà)米尺度上表麵(miàn)粗(cū)糙(cāo)度(dù)和公差測量(liáng)標(biāo)準作為(wéi)新(xīn)的(dí)納(nà)米測量(liáng)基礎。與此對應，研(yán)究對應芯片，掩模(mó)板測(cè)量(liáng)中的綫條(tiáo)寬(kuān)度，間(jiān)距，台(tái)階(jiē)高度，表(biǎo)麵粗(cū)糙(cāo)度(dù)，膜厚等被測量(liáng)的校對樣板(bǎn)，並對這些樣板進(jìn)行(háng)標(biāo)定和比對，對於保(bǎo)證這些幾何(hé)參數量值的(dí)統(tǒng)一和溯(sù)源(yuán)具有(yǒu)十分重要(yào)的(dí)意義(yì)。多傳(chuán)感器測量(liáng)及測量信(xìn)息融(róng)合(hé)技(jì)術(shù)是現(xiàn)代測量計量(liáng)技術(shù)出(chū)現的(dí)新特(tè)點。現代(dài)復雜機電(diàn)係(xì)統(tǒng)涉(shè)及信息多，測(cè)量信(xìn)息量(liáng)大，傳感器(qì)數量(liáng)較多(duō)，多(duō)源(yuán)巨量信(xìn)息分(fēn)析評(píng)估困(kùn)難(nán)，需借助(zhù)數據(jù)融合理論進(jìn)行處理(lǐ)。多傳感器(qì)測(cè)量應(yīng)用中的數(shù)據融合技術正逐漸(jiàn)成為提升(shēng)測量(liáng)係(xì)統性能的關鍵(jiàn)技術之一。